ROHS检测仪的分析原理和X射线荧光光谱仪一样，可以将ROHS检测仪看做为X射线荧光光谱仪。能用于测定周期表中多达83个元素随机组成的各种形式。典型的样品有玻璃、塑料、金属等。通常可以分为两大类，波长色散X射线荧光光谱仪和能量色散X射线荧光光谱仪，ROHS检测仪通过色散元件被分离成不连续的波段，然后用气体正比计数器或闪烁计数器检测，其主要组成是X光管、晶体、次级准直器和探测器，及辅助装置如初级滤光片等。

ROHS检测仪将测试的样品放入检测仪后，受到来自X光管发出的射线激发，产生X荧光。仪器是较新型X射线荧光光谱仪，具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析F(9)～U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。

ROHS检测仪的特点，分析的元素广，很多种，从4Be到92U都可以检测，X射线谱线很简单，干扰少，样品没有必要分离，方法简单。分析浓度范围很大，从常量到微量能读都可以检测。重元素的检测可达ppm量级，轻元素有点难检测；分析的样品不会被破坏，分析快速，准确。

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