依据于气体种类的不同和所需气体纯度的高低，气体发生器制备气体的所采用的工艺也有所不同。多数情况下，气体发生器利用膜片和特定的吸附剂来制备极高纯度的气体(99.99999 %)。气体发生器主要包括氮气、氢气、TOC、零级空气、氧气和臭氧发生器。

气体发生器可为诸如傅里叶红外变换光谱仪(FT-IR)、气相色谱、总有机碳分析仪(TOC)、核磁共振(NMR)和热分析仪等仪器提供吹扫气、载气以及燃气的装置。此外，压缩气体还可与自动取样器联用，用于溶剂蒸发、激体室的清洗，以及用气体覆盖溶剂和样品。