温度和湿度的变化能够引起生产设备的误差，从而影响生产过程的可重复性，最终导致产品合格率降低、增加浪费。因此，洁净室对温度严格控制要求是显而易见的，这项花费是必须的。

　　通常情况下，要求工程师在设计时降低施工费用，同时要求在很大区域内对温度进行精确的控制，允许的温度变化范围在±4到6华氏度之间（例如使用卷帘门的仓库）。在没有硬墙和气闸装置时，这将是十分苛刻的要求，并且实际上无法控制湿度的变化。人们通常认为洁净室外的洁净度、温度、湿度和气压等项目的层叠性是非常容易达到的，并且很容易维持，但需要仔细的评估这些项目的误差范围。

　　如果对洁净室内的暖通、动力专业装置和控制系统有严格要求，例如洁净室的温度控制要求为正负0.1华氏度所用花费，可能比基准点为70华氏度，±2.0度（即标准要求68到72华氏度）的高出20%到50%。

　　在每个洁净室区域内，有局部自动调温器来控制设计温度。它能驱动安装在风管上的局部再热或再冷盘管工作，来满足房间内的湿热的要求。如果使用风机盘管装置，局部自动调温器控制本区域内盘管出口空气的温度。

　　7. 温度控制。花费因素变量：-0.034至0.19

　　每个洁净室内的相对湿度，通过局部湿度调节器来进行控制。如果窨内的相对湿度较高，恒湿器通过降低冷冻盘管流出空气的温度来加强除湿。同时，再热盘管提供热量来保持窨的温度。任何一个洁净间的相对湿度超出了设计范围，局部恒湿器将启动安装在风管上的局部湿度调节器。当必须满足精确的湿度控制时，通常利用空调箱中的新风的绝热增湿效果来实现，并通过洁净室的结^***来维持。

　　湿度水平的局部变动可以通过超声波湿度调节器进行控制，该调节器位于最终过滤前的风管静压箱内。用水水质为RO/DI，水电阴率在3到5mgm之间。如果相对湿度低于设计范围，恒湿器将启动湿度调节器来增加新风的水分含量。如果相对湿度较高，恒湿器将降低新风控制冷冻盘管流出空气的^***温度，从而加强除湿效果。

　　8. 排风系统。花费因素变量：-0.031至0.16

　　典型的工艺排风系统包括：酸、溶剂和VOC、毒性物质、热和一般的房间排风。如果废气中有氨气出现，一些厂家会选择使用分开的风管系统和处理系统。使用最多、最普遍的酸消除方法，是水平或垂直气体洗涤塔。溶剂和VOC的去除通常运用就地或当场高温破坏的方法。需要认真选择支队的方式及必须支队的废气流量。

　　优质的空气处理设备能够将废气量降至最低，因此，在实施过程中可降低工程费用和能源浪费。保持排风量增加的潜在需求、扩大生产和安装这些备用品所需的经济价值之间的平衡是十分重要的。通常情况下，考虑到洁净室将来的扩展，当其它动力设备和暖通、动力专业系统（例如新风和冷却）不能满足这种扩充的需求时，超大的昂贵的、不锈钢衬里的或FRP排风系统就已经建立了。没有考虑将来的需求而建立的酸排队系统也是十分普遍的。增加风量和新的风管支管，，就会使风管系统中的风速超过每分钟4000英尺。这样的系统保持平衡是十分困难的或不可能的，并且运行的费用昂贵。

　　9. 振动和噪声控制。花费因素变量：-0.027至0.10

　　设备的大小和重量影响振动的传播及控制。洁净室地板下面的“华夫（waffle）”混凝土板层，能够很好地避免将设备的振动传送到其他生产区域或度量衡工具上。即使为了安装管道而在洁净室的地面上钻洞，Waffle混凝土板层仍能保持其风性。因为地板的强度在于它的栅格系统，并可进行重新整理。因此可在地板上冲压额外的孔洞，而不会对振动因素有任何副作用。

　　所有的暖通、动力专业设备应使用弹簧、软件接和隔离安装等隔绝振动的方式，将振动效应降到最低。低噪音的节能风机和马达，可以用来维持洁净室NC水平。振动和噪声方面的专家应是评估小组的成员，他们来领袖用于振动和噪声方面的专家应是评估小组的成员，他们来核实用于振动和噪声控制中的机械和建筑学原理。完工后的再处理可能是十分昂贵的。如果建筑师、暖通、动力专业工程师、业主和顾问从设计的开始就考虑这些因素，可以免去许多潜在的昂贵的检测，或用更经济的办法取代。

　　10. 磁通量和电磁通量。花费因素变量：0.037至0.15

　　磁通量被认为是银河系中海洋微粒背景的流量。银河系的放置也被认为是自然界的电磁循环。“通量”这个词代表流量，我们可以认为磁力线就象某种液体流动的路线那样穿过一个假想的表面。磁场的大小代表流动的速度，它的方向就是流动的方向。磁通量就是流过这个表面的所有的容量。为了更好地理解，我们可以认为磁通量就是穿过这个表面的磁力线的数量。