高产量、高亮度的LED生产极具挑战性。随着高亮度LED的应用范围更进一步地扩大，今后高效率及高成品率的设备将会是市场的主流。比如显示器背光、汽车照明以及普通照明，它们成为化合物半导体技术空前发展的驱动力。LED的崛起是驱动MOCVD设备生长的原动力。

光学监控系统是在GaN外延过程中利用晶片的反射率及温度提供实时的信息给使用者，这种方法已被广泛的使用。干燥箱的LED能在生产中对光学原位进行监测。

未来系统的发展以远程遥控为主，这种监控系统一定要与MOCVD系统联系起来甚至是做整合。有了这种先进的原位系统实时监控，可以在某个生产周期结束时，系统能自动测出外延生长中的所有参数及分析数据，包括生长速度，如此可避免一些人为的疏失。实时温度测量用于估测每块晶片的均匀性，尤其在未来多片式的量产系统中更需要这种原位监测系统，为使用者提供外延生长中晶片的特征参数。