物理吸附仪的基本单元器件是压力传感器以及用以真空、吸附质气和隔离样品的阀，样品管，液氮恒温浴和储气罐。由他们构成温控单元、测压单元、真空系统、样品管、贮气器及歧管系统。来自贮气器的吸附质气进入样品管和平衡管，样品管侧的样品压力传感器对因样品吸附气体引起的样品管中压力下降感应，并引发伺服阀开闭以维持恒压，位于样品管和平衡管之间的传感器检测两管之间的压力差，并触发另一伺服去平衡两管压力。通过压力传感器监测两贮气器之间压力，并判定样品吸附的气体量。此吸附量实际上经测量的压力值与包括歧管在内的死空间体积计算得到。
吸附仪与10年前相比，主机及脱气单元基本没有变化，仅自控性能更为精确、更加小型化，测试数据更加准确。特别体现在计算机控制、特别是数据处理的软件功能以及死体积计算方面。例如北京彼奥德电子技术有限公司SSA-7000系列，它的软件几乎包括了所有目前物理吸附有影响的等温方程和计算方法，包括完全吸附-脱附等温线、单点和BET表面积、Langmuir表面积、BJH孔分布（体积和面积）、总孔容积、MP法等，进行孔体积、表面积计算。
活性炭、沸石分子筛等微孔材料的孔结构研究，近年已经出现了商品高分辨吸附仪，在压力分辨率至少达到0.113Pa的条件下，实现p/po从10-6到10-1的Ar或N2低温吸附试验，有程序控制脉冲平衡吸附，即对盛放于样品管的被测样品施以恒定体积吸附质的气体脉冲。仪器配置的计算机软件程序可以连续监测样品室压力变化，并给出等温线，一般采用H-K法计算孔分布。典型的仪器有北京彼奥德电子技术有限公司MFA-140型多功能物理吸附仪。
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