材料表面的生命期

乾淨的材料表面在1E-6 Torr真空中、1秒鐘會吸附一層氣體分子，為實驗方便計算氣體吸附量，稱此量為1 L（1 Langmuir）。依此可知在1E-10 Torr真空下，材料表面在1E4秒鐘（約2小時50分鐘）後，會吸附一層氣體分子。通常在抽真空時，會先用若氮氣purging，若其純度為99.9%，在1E-10 Torr真空下的氧和氮比可簡單估計為1:1000，若定義0.1%的氧覆蓋（coverage）為汙染，假設氧和氮對基材的吸附能力相同，則在1E-10 Torr真空下，乾淨的材料表面的生命期約只有2小時50分鐘。因所有的分析都需在生命期內完成，材料表面的生命期越長越好。舉例來說，當真空度只有1E-9 Torr時，其生命期約17分鐘，一般取數據的時間都比這久，1E-9 Torr的真空度是不合乎實驗需求的。