特种气体的详细资料：_产品说明_仪器仪表技术文献

特种气体的详细资料：

提供者：南京皓而普分析设备有限公司发布时间：2012/12/24 18:46:50 阅读次数：6000次进入该公司店铺

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纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9999N2H2O2+ArCOCO2CH4H2OC2H6+C3H8SiH3Cl电阻率
1.0020.00.050.050.050.050.500.100.15>1000Ωcm
99.999N2HeH2COCO2CH4H2OO2+Ar电阻率
551000.500.500.5021>1000Ωcm

磷烷（PH3）Phosphine
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9999N2O2COCO2AsH3H2O总烃
0.30.10.050.10.20.10.1

申烷（AsH3）Arsine
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9999ArN2O2COCO2CH4H2OGeH4C2H6C3H8PH3SiH4
0.10.10.10.050.10.10.050.10.10.10.20.1

锗烷（GeH4）Germane
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99N2O2THCH2O
5.01.01.05.0

乙硼烷（B2H6）Diborane
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.995O2CO2H2OCH4CH3Cl
3.03.03.05.010.0
99.955.010.05.0100.0100.0

氨（NH3）Ammonia
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99O2+ArCO2H2OCH4COH2
100.0100.0200.050.050.0100.0

一氧化碳（CO）Carbon Monoxide
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9N2H2O2CO2H2O
150.050.050.050.010.0

氧化亚氮（N2O）Nitrous Oxide
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.995O2+ArN2CO2CH4H2ONONO2NH3
0.52.01.00.51.01.01.01.0

一氧化氮（NO）Nitric Oxide
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9N2N2ONO2CO2THC
500.0100.050.0100.010.0

二氧化硫（SO2）Sulfur Dioxide
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9残渣酸度H2O
40.020.040.0

羰基硫（COS）Carbonyl Oxysulfide
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.98残渣酸度H2O
40.020.040.0

硫化氢（H2S）Hydrogen Sulfide
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9AirTHCCO2H2O
50.010.030.010.0

碳氢化合物Hydrocarbon
分子式名称纯度（≥）分子式名称纯度（≥）
C2H2乙炔99.90%C4H8异丁烯99.5-99.9%
CH4甲烷99.9-99.995%C4H8顺丁烯99-99.9%
C2H6乙烷99.90%C4H8反丁烯99-99.9%
C3H4甲基乙炔99.00%C5H12正戊烷99.50%
C4H6乙基乙炔99.00%C5H12异戊烷99.50%
C2H4乙烯99.90%C4H61,2-丁二烯99.50%
C4H10异丁烷99.50%C4H61,3-丁二烯99.90%
C3H8丙烷99-99.9%C5H10正戊烯99.50%
C3H6环丙烷99.50%C6H12己烯99.50%
C3H6丙烯99.90%C6H12环己烷99.50%
C3H4丙二烯99.00%C2H6O甲醚99.90%
C4H8正丁烯99.90% C2H4O　环氧乙烷99.90%

氟化物
氟气（F2） Fluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,% ）
99.0O2+N2CF4HF
0.450.050.50

氟化氢（HF）Hydrogen Fluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9H2OCl2H2SiF6SO4－－HPO4－－Metals
25.05.0100.05.012.25.0

三氟化氮（NF3）Nitrogen Trifluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9N2N2OO2+ArCOCO2H2OCF4SF6总F
50.010.050.010.010.01.070050.00.3

,三氟化磷（PF3） Phosphorus Trifluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9O2N2HF
20.075.05.0

（BF3）Boron Trifluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99N2O2COCO2SO2SiF4MS
15.05.02.020.020.020.08.0

三氟甲烷（CHF3）Freon-23
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.995AirH2OCO2CH4HF其它碳氟
15.04.02.01.01.010.0

四氟化碳（CF4）Carbon Trifluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999N2O2COH2O其它碳氟
2.01.01.01.05.0

四氟化硅（SiF4）Silicon Trifluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99N2O2COCO2CH4HFPF5BF6
3.01.00.51.010.050.00.51.0

五氟化磷（PF5）Phoshorus Pentafluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99N2H2O2H2O其它
50.05.020.05.030.0

五氟化砷（AsF5）Arsenic Pentafluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9N2H2O2H2O其它
50.010.020.03.030.0

五氟化溴（BrF5）Bromine Pentafluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99N2O2H2O其它
0.10.110.00.1

五氟化碘（IF5）Iodine Pentafluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99N2O2H2O其它
0.10.110.00.1

六氟乙烷（C2F6）Hexafluoroethane
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99N2O2COCO2H2O
60.015.02.02.05.0

六氟化硫（SF6）Sulfur Hexafluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99N2H2H2OCF4其它
24.06.05.020.05.0

六氟化钨（WF6）Tungsten Hexafluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）杂质含量：Impurities （ ≤,ppb ）
99.98N2CO+CO2CF4HFSiF4SF6O2+ArFeCrNaKUTh
101.01.0100.50.51101010200.050.1

六氟化钼（MoF6）Molybdenum Hexafluoride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.7N2H2H2O其它
0.1%0.1%10ppm0.1%

八氟丙烷（C3F8）Octafiuoropropane
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9O2H2O酸度其它
3.03.02.02.0

八氟环丁烷（C4F8）Perfiuorocyciobutane
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99N2H2H2O其它
4.06.05.05.0

氯化物
氯气（Cl2）Chlorine
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999N2O2H2COCO2H2O
2.02.00.11.00.12.0

氯化氢（HCl）Hydrogen Chloride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999N2O2+ArCO2THCH2O
4.01.03.01.01.0

三氯化硼（BCl3）Boron Trichloride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999N2O2CH4COCOCl2HClCl2AlCaCuFeSiNa
4.01.00.50.50.51.00.30.10.020.010.31.00.1

二氯二氢硅（SiH2Cl2）Dichlorosilane
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999H2OTHC其它氯硅烷
1.01.00.1%

四氯化硅（SiCl4）Silicon Tetrachloride
纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）　
99.99 HCl,SiHCl3SiH2Cl2SiH3ClSi-OHSi-OH（THC）ppm
35.05.02.02.05.05.0
AlCoCrCuFeMnMoNiTiVZnppb
10.01.01.01.010.01.07.02.01.02.03.0

溴化物