S-3400N扫描电子显微镜
S-3400N具有最新开发的电子光学系统,强大的自动化功能,操作更简易。
特点:
1. S-3400N具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品最高可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净、高效。
技术指标:
项目 | 描述 |
SE分辨率 | 3.0nm (30kV),高真空模式 10nm (3kV), 高真空模式 |
BSE分辨率 | 4.0nm (30kV),低真空模式 |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 |
加速电压 | 0.3 ~ 30 kV |
低真空范围 | 6 ~ 270 Pa |
最大样品尺寸 | 直径200mm |
样品台 | I型 II型 |
X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
R | 360º 360º |
T | -20º~ +90º -20º ~ +90º |
最大样品高度 | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
驱动类型 | 手动 五轴马达驱动 |
灯丝 | 预对中钨灯丝 |
物镜光栏 | 可移动式4孔物镜光栏 |
枪偏压 | 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏 |
检测器 | 二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o |
控制 | 鼠标、键盘,手动旋钮 |
自动调校 | 自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦 消像散、自动亮度对比度 |
扫描电镜是一款性能价格比很高的仪器,具有极高的分辨能力,即使在高放大倍率下也可得到清晰的图像,并且支持功能强大的图像分析系统S/W。它为PC控制的数字式扫描电镜,用户在熟悉的Windows环境下用简单的鼠标操作就可进行各种图像分析和测量。扫描电镜特点:1.高分辨率图像:钨灯丝发射,使用Dual Slit lens及稳定的专用电源了3.5nm的高分辨率,从而能看清被观察样品的显微图像细节。2.支持强大的S/W分析功能:具有图像编辑及管理功能,支持图像处理及增强功能,3维数据视图/多重聚焦/图像拼接/轮廓等图像分析功能。3.方便的计算机控制式数据运行环境:简便的Window XP运行环境及GUI(图文用户界面)控制系统支持各种图形格式,如:JPEG, BMP, PCX, TIF等,支持1280X960高分辨率像素存贮管理。4.扩展性:具有安装EDS, WDS 及 BSE探测器等接口。5.计算机控制:使用者只要点击鼠标即可操作。6.全自动真空控制系统:避免误操作而引起油蒸汽污染7.大样品室设计:242×260×302 mm,多种样品托,可方便装载不同的样品。8.五轴控制:X、Y、Z、R、T,其中X,Y,R为电动可选样品移动范围:X(50)、Y(70)、Z(60)、R(360°)、T(-30~90°)9.宽放大倍率:5倍至300,000倍10.自动聚焦、消像散及自动亮度、对比度调节11. 具有图像模式转换,无需BSE探测器即可观察BSE图像12.扩展性强,可根据用户要求定制各种附件配置:1.电子光学系统1.1 电子枪:钨灯丝发射;弹夹式灯丝座,更换灯丝非常方便。1.2 透镜:聚光镜为二极透镜系统。物镜运用(Dual Slit lens)透镜减少了球差,提高分辨率。1.3 探测器:E-T bar型二次电子探测器具有很高的检测效率。通过改变探测器上的法拉第盒电压即可进行二次电子/背散射电子模式转换。1.4 样品室:具有二次电子探测器,以及能谱仪、背散射电子、波谱仪探测器等端口。可扩展性强,可升级为多种外接设备端口。样品室大小:242×260×302 mm。并可根据用户要求定制观察特殊样品的样品室。1.5 载物台:5 轴 (X,Y,Z,旋转,倾斜) 控制,机械同轴倾斜平台。360°方向旋转。-30°至90°优化的倾斜角度适用于各种截面观察。载物台移动范围为50/70/60mm(X/Y/Z)。选择不同的样品座,可同时方便装载多个样品及观察,可提高工作效率。1.6 光阑:固定光阑4个,活动光阑3孔。2.电气系统: 高压电源:稳定度达PPM级。控制电源:全自动控制。真空控制系统:具有全自动及手动控制。3.真空部件:机械泵、扩散泵、真空阀等。4.1通用功能:•PC控制式数字扫描电镜,采用用户熟悉的Window环境作为操作系统,通过点击鼠标即可显示设备的状态。•支持文件组管理功能,具有诸如文件打开,存贮,格式变换,打印及缩略图浏览等功能。•给用户提供方便的放大/缩小,Panning,宏观观察等工具。•提供长度,面积,角度等测量功能,及目标测量追踪功能等。•支持图像编辑功能,建立感兴趣区域,具有图像剪切、粘贴编辑功能以及箭头、文字、圆、四边形、任意曲线等标注功能。•用户可根据不同的要求设置参数,如透镜、消像散、探测器及接收器的放大器等参数的设置。•通过多重窗口及的图像处理模块来控制扫描电镜。4.2 专业图像处理及分析功能色彩变换•在灰度位图上创建任意色彩•在SEM灰度图或频谱图像上通过伪彩色来增强边缘效果3D重建•调节视场角度,用亮度设置色彩,设置光源,支持线框架及回放选项•根据图像的亮度值重建3维图像多重聚焦•在同一视场不同焦面拍摄的一系列图像中,通过多重聚焦功能,创建一个新的、聚焦好的图像图像拼接•把各个相邻的图像拼接成一幅图像•自动拼接,创建一幅完整的高分辨率图像•通过对个别图像的亮度分析进行亮度补偿•支持去模糊功能,通过重叠边界去除不连续点•灵活的矩阵分割及图像排列频率滤波器•低通/高通/带通,Band Stop, High Emphasis, Homomorphic滤波器•通过图像频谱观察,设计新的滤波器用户自定义滤波器•通过选择滤波器掩码值设计合适的滤波器•创建各种尺寸的掩码,通过缺省值来打开及存贮用户自定义滤波器,设置初始值直方图•使用RGB / HSV / HLS / CMYK色彩模型研究色彩分布•来自于直方图,平均值,标准偏差,系数,最大,最小等至少12个因子累计总和•可把数据导入到Excel注释•用户可以运用如圆周、方框、直线、箭头、文字等注释符号•通过使用水平线、直线、垂直线、对角线、方框等进行测量功能报告设计•通过使用直线、矩形、圆、文字、图像等图表创建各种报告格式,保存及打开用户自定义报告格式5. 电脑 电脑:韩国电脑主机,奔腾IV CPU、512MB内存、80G硬盘,19”LCD 显示器(国内购买)6. 稳压电源、空压机(国内购买)7. 防震工作台 具有双重防震装置8. 备件、样品制备工具及调整工具一套
10~60000放大倍率、适合各类样品分析
较光学显微镜有更好的景深
光学显微镜景深不足在500 倍时仅有局部区遇有清析的影像视野。 | 同样500倍放大倍率下JCM-6000有较优越的分辨率与景深,全视野都非常清晰。 |
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JCM6000拥有良好景深,方便样品观察与分析 |
可直接进行2D量测、包括长度与角度
可观查成份像(左:PCB成份影像 右:电子零件立体影像)
全新的触摸屏GUI界面操作更加形象直观,不仅操作界面简明易懂,触摸式操作更加直观方便。
双画面显示可以并列显示实时图像和储存图像。 能一边比较图像一边进行观察。
JCM-6000 规格
放大倍数 | ×10 ∼ ×60,000 (二次电子) ×10 ∼ ×30,000 (背散射电子) |
---|---|
观察模式 | 高真空模式 / 低真空模式 |
电子枪 | 灯丝与韦氏帽集成一体的小型电子枪 ( filament and Wehnelt integrated grid) |
加速电圧 | 15kV / 10kV / 5kV 3档切换 (二次电子) 15kV / 10kV 2档切换 (背散射电子) |
样品台 | X-Y轴手动控制 X方向 35mm、Y方向 35mm |
最大样品尺寸 | 直径70mm、高度50mm |
工作距离 (WD) | 7~53mm |
信号检测 | 高真空(二次电子、背散射电子)、低真空(背散射电子) |
数据显示/ 显示内容 | 加速电圧、倍率、微米条、微米值等 |
文件格式 | BMP、TIFF、JPEG |
图像内存像素 | 640x480像素、1280x960像素 |
拍摄条件 | 高速、低速1、低速2 |
旋转功能 | 扫描旋转(90°/步、1°/步可选) |
图像电位移 | 电位移功能 |
图像保存 | 拍摄(扫描)结束后,能自动编号、自动保存文件。 |
操作系统 OS | Windows 7 |
自动功能 | 自动聚焦、自动消像散 自动衬度/亮度、 自动电子枪对中 |
配置 | 主机、电源箱、PC、LCD、机械泵 |
操作 | 触摸屏、鼠标 |
选配件 | 马达驱动倾斜/旋转样品架、能谱仪(EDS) |
主机 | 330(W)×490(D)×430mm(H) |
输入电源 | 单相AC100V(700VA)、120V(840VA)、220V(880VA)、240V(960VA) 波动±10%以内、接地 |
室温 | 15℃~30℃ |
湿度 | 60%以下 |
项目 | EM3900M | EM3900Z | EM3900A | EM3900AZ | ||||||||||||||||||
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