越光学极限的高倍率
■ 最高倍率达100,000X■ SE(二次电子)探测器(可选BSE探测器)
■ 加速电压5kV~30kV范围可调
■ 多种真空模超式-标准/荷电减轻
■ 等待时间少于2分钟
■ 5轴控制载物台-X、Y、R、Z、T
■ 4孔可变光阑-30/50/100/200 um
■ 选配-EDX系统 冷冻载台 低真空控制系统
非导电性样品无须涂层、快速简便
■ 任何人都能使用的自动调整功能■ 交替样品后两分钟即可获得满意的影像■ 体积小巧,灵活快捷■ 最便利化的GUI界面
影像鲜明的扫描电镜
■ 高分辨率最高可达5百万像素■ 极大的景深层次丰富■ 多种格式储存■ 多种测定功能:长度、角度等
仪器简介
SU8200 系列冷场扫描是日立高新经过多年潜心钻研,巨额投入而研发出来的新一代革新性冷场电镜,此系列扫描电镜在完全秉承以往冷场发射扫描电镜全部优点的同时,将探针电流进行了大幅提高,电流稳定性得到了极大增强,同时避免了灯丝Flash 后的采图等待时间,可以说其弥补了以往冷场电镜的所有弱势,成为一款真正的超高分辨分析型冷场扫描电镜,上演了一部现实版的王者归来!
主要特点:
日立高新新研发的冷场电子枪
1.利用电子枪轰击后的高亮度稳定期,束流更大更稳定,高分辨观察和分析兼顾
2.大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)
3.减轻污染的高真空样品仓
4.通过顶部过滤器(选配项)实现多种材料对比度可视化联系人钟先生 1564055 / QQ:
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S-3400N扫描电子显微镜
S-3400N具有最新开发的电子光学系统,强大的自动化功能,操作更简易。
特点:
1. S-3400N具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品最高可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净、高效。
技术指标:
项目 | 描述 |
SE分辨率 | 3.0nm (30kV),高真空模式 10nm (3kV), 高真空模式 |
BSE分辨率 | 4.0nm (30kV),低真空模式 |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 |
加速电压 | 0.3 ~ 30 kV |
低真空范围 | 6 ~ 270 Pa |
最大样品尺寸 | 直径200mm |
样品台 | I型 II型 |
X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
R | 360º 360º |
T | -20º~ +90º -20º ~ +90º |
最大样品高度 | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
驱动类型 | 手动 五轴马达驱动 |
灯丝 | 预对中钨灯丝 |
物镜光栏 | 可移动式4孔物镜光栏 |
枪偏压 | 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏 |
检测器 | 二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o |
控制 | 鼠标、键盘,手动旋钮 |
自动调校 | 自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦 消像散、自动亮度对比度 |
日本电子,电镜,扫描电镜 大样品室和马达驱动样品台 艾先生 --5334 0755--3150 Q -6154
样品室对应样品的直径可达到200mm,5轴马达驱动确保了率的样品移动和观察。
操作窗口
直观的操作界面的设计,简明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用户
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造率的操作环境。用户登录时,即可加载已注册过的设定。
同时显示两幅图像
画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。
微细结构测量
适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像,保存在文件中。
标准的全对中样品台,能收录三维照片
3D Sight(选配件),能够进行平面测量和高度测量,实现立体俯视图。
从图像观察到元素分析,配合连贯一条龙
分析型扫描电子显微镜配备两台监视器,一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析(EDS)。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。
维护简便
工厂预置中心灯丝,十分便于更换。因此,可保持稳定的高性能。此外,操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。
可信赖的真空系统
真空系统使用高性能的扩散泵了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件,体现了操作稳定,维护简便的特色。
KYKY-2800系列 | |||||||||
实用型扫描电子显微镜 | |||||||||
项目 | KYKY-2800B | KYKY-2800BZ | KYKY-2800A | KYKY-2800AZ | |||||
分辨率 | 4.5nm(30KV) | ||||||||
放大倍数 | 15x~250,000x | ||||||||
电子枪类型 | 发叉式钨丝阴极 | ||||||||
加速电压 | 0~30KV | ||||||||
透镜系统 | 三级电磁透镜 | ||||||||
物镜光阑 | 三个光阑可在真空外选择调节 | ||||||||
样品台 | 手动 | X/Y轴自动 | 手动 | X/Y轴自动 | |||||
行程 | X | 0~50mm(大样品台0~80mm) | |||||||
Y | 0~50mm | ||||||||
Z | 0~25mm(大样品台0~30mm) | ||||||||
R | 360º | ||||||||
T | ‘-5º ~90º (大样品0º~90º) | ||||||||
探测器 | 二次电子探测器,背散射电子探测器(可选),X-ray能谱仪(可选) | ||||||||
真空系统 | 扩散泵 | 扩散泵 | 分子泵 | 分子泵 |
KYKY-2800 Series | |||||||||
Practical Type SEM | |||||||||
Model | KYKY-2800B | KYKY-2800BZ | KYKY-2800A | KYKY-2800AZ | |||||
Resolution | 4.5nm(30KV) | ||||||||
Magnification | 15x~250,000x | ||||||||
Electron gun | Hair fork tungsten cathode | ||||||||
accel voltage | 0~30KV | ||||||||
Lens System | Level 3 electromagnetic lens | ||||||||
Lens Isis | three diaphragm can be adjusted without vacuum | ||||||||
Stage
| Manual | X/Y axis Automatic | Manual | X/Yaxis Automatic | |||||
Move Range | X | 0~50mm(large stage 0~80mm) | |||||||
Y | 0~50mm | ||||||||
Z | 0~25mm(large stage 0~30mm) | ||||||||
R | 360º | ||||||||
T | ‘-5º ~90º (large stage 0º~90º) | ||||||||
Detector | secondary electron detector ,backscattered electron detector (optional),X-ray Energy Disperse Spectroscopy (optional) | ||||||||
Vacuum system | diffusion pump | diffusion pump | molecular pump | molecular pump |
扫描电子显微镜(SEM)图像系统改造 硬件:
1.原装美国国家仪器公司图像采集板,支持PCI总线标准(2.2版),其总线数据度可 达32位,频率为33MHz,传输速率132Mb/S;支持的数据管理结构,包括两路 DMA引擎,可编程的目标和源数据传输模式 ,以及PCI消息功能,即插即用。
2.SEM图像接口及电缆
扫描电子显微镜(SEM)图像系统改造 功能:
1.主动式数字扫描系统,可实时调整扫描速度,亮度和对比度等。
2.可选择全屏扫描和区域扫描。
3.采集速度:4~120μS多种点逗留方式。
4.采集图像分辨率:64648bit、1281288bit、2562568bit、 5125128bit、 102410248bit
图像处理及分析软件:
1.图像显示方式:标准窗口匹配,图像缩放,处理区域选择,同屏显示原始图像及处 理后的结果。
2.图像标记:放大倍数、加速电压输入,彩色中西文字编辑,测量μ标尺显示。
3.图像增强:a.亮度、对比度调节。b.图像平滑。c.图像锐化。d.边缘提取。
4.域值分割:a.二值分割:建立二值图像。b.彩色分割:将图像不同的灰度区域设置 成不同的颜色,以伪彩色的方式显示出来。
5.形态学变换:a.二值图像处理及编辑:灰度形态学变换,包括:腐蚀、膨胀、开运 算、闭运算。b.图像细化。
6.灰度图像的伪彩色变换:将灰度图像设置成某种颜色显示和存储。
7.灰度值方图显示
8.粒度分析:对图像中的颗粒进行重心、面积、周长、圆形度、长轴、短轴计算和部 分参数直方图显示、存储、打印。
9.图像存储和输出:多种格式图像存储,图像格式转换,图像打印、拷贝。
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