型号:SFT-110
测量元素:原子序号22(Ti)~83(Bi) X射线源:空冷式小型X射线管 检测器:比例计数管 准直器:○型: 0.1mmφ、0.2mmφ 2种 样品观察:CCD摄像头(可进行广域观察) 对焦:激光点(自动) 滤波器:一次滤波器: 自动切换 样品台(台式尺寸): 500(W) x400(D) x 150(H)mm (移动量):X:250mm, Y:200mm 操作部:电脑、19寸液晶 测量软件:薄膜FP法 (最多5层膜、10种元素)、标准曲线法 数据处理:配备有Microsoft® Excel、Microsoft® Word 安全机构:样品门连锁、样品的防冲撞功能、仪器诊断功能
配备自动定位功能的[X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110],使操作性进一步提高。 对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理,可产品的功能及品质,降低成本。精工从1971年推出非接触、短时间内可进行高精度测量的X射线荧光镀层厚度测量仪以来,已经累计销售6000多台,得到了国内外镀层厚度、金属薄膜测量领域的高度关注和支持。 为了适应日益提高的镀层厚度测量需求,精工开发了配备有自动定位功能的X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110。通过自动定位功能,仅需把样品放置到样品台上,就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此,无需进行以往的手动逐次对焦的操作,大大提高了样品测量的操作性。 近年来,随着检测零件的微小化,对微区的高精度测量的需求日益增多。SFT-110实现微区下的高灵敏度,即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。并且,配备有新开发的薄膜FP法软件,即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量,可对应更广泛的应用需求。
特点 即放即测! 通过自动定位功能,放置样品后仅需几秒,便能自动对准观察样品焦点。 10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量! 以的设计实现微小区域下的高灵敏度,即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度地提高膜厚测量的精度。 无标样测量! 将薄膜FP软件进一步扩充,即使没有厚度标准物质也能进行高精度的测量。也可简单地测量多镀层膜和合金膜样品。 通过广域观察系统更方便选择测量位置! 通过广域观察系统,能够从画面上的样品整体图(最大250×200mm)中方便地指定测量位置
概述:
即放即测;10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量;
可无标样测量;通过样品整体图像更方便选择测量位置!
主要特点:
1.通过自动定位功能提高操作性 测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大
提高样品定位的操作性。 2.微区膜厚测量精度提高 通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅
度提高膜厚测量的精度。 3.多达5层的多镀层测量 使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。 4.广域观察系统(选配) 可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置。 5.对应大型印刷线路板(选配) 可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。 6.低价位 与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。
产品规格:
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概述:
是利用荧光X射线原理的镀膜厚度测量计。SFT系列是本公司标准机型。有适用小型部件的SFT9200、
有适用大型印刷基板的SFT9255。防止样品和仪器装备结构不吻合的功能是本系列的标准装备。
主要特点:
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