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概述:
高速X射线管球的搭载,实现了高精度的测定。而且配合极微小准直器和光学变焦镜头可以实现
极微小部分的测定。更可以对有高低平面差异的样品进行测定。
主要特点:
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日本日立FT9500X型X射线荧光镀层厚度测量仪
日立(EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L)FT9500系列产品,搭载了高性能X射线管,实现了高精度的测定。FT110A极微小准直管和可变焦距光学系统的组合,实现了对极微小部分的测定。对有段差的样品也适用。
1.FT9500X搭载了50W高性能X射线管。2.FT9500X搭载毛细聚焦导管。3.容易对微小领域进行观察,FT9500X搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。4.依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。5.FT9500X搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。6.搭载了焦点切换功能,FT9500X能够对有高度的样品的低部分进行测定。7.FT9500X利用伺服马达精确的驱动平台。7.FT9500X运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。
日本日立FT110A型X射线荧光镀层厚度测量仪
日立(主营EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L)FT110A系列产品,搭载了高性能X射线管,实现了高精度的测定。FT110A极微小准直管和可变焦距光学系统的组合,实现了对极微小部分的测定。对有段差的样品也适用。
1.FT110A搭载了50W高性能X射线管。2.FT110A搭载标准的Φ50μm微小准直管(最小Φ15μm)。3.容易对微小领域进行观察。FT110A搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。4.依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。5.FT110A搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。6.搭载了焦点切换功能,FT110A能够对有高度的样品的低部分进行测定。7.FT110A利用伺服马达精确的驱动平台。7.FT110A运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。
FT150(FT150/FT150h/FT150L)日本日立X射线荧光镀层厚度测量仪
日立(主营EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L),FT110A系列产品,搭载了性能X射线管,实现了高精度的测定。FT110A极微小准直管和可变焦距光学系统的组合,实现了对极微小部分的测定。对有段差的样品也适用。1. 高速测量:通过X射线检测机的改良,对于极具代表性的Au/Pd/Ni/Cu(金/钯/镍/铜)多镀层测量,相比以前机型,效率提高了2倍以上。2. 对应超小型的芯片零部件的厚度测量(FT150h:FT150h通过最新开发的聚光导管,可以测量超小型芯片零部件(电容、电阻等)的电极部的镀层厚度测量。3. 兼顾安全性和简便性:采用防止X射线泄露的密集型框架和大开口且可以方便开启和关闭的样品门,兼顾安全性和简便性。「FT150L」可以对应最大600×600mm的大型线路板。
X射线荧光镀层厚度仪「FT150系列」(FT150/FT150h/FT150L)是采用聚光X射线的聚光导管,可对微小部的镀层厚度进行高速测量的高性能仪器。通过X射线检测仪器的改良,在线路板和连接器等使用的Au/Pd/Ni/Cu(金/钯/镍/铜)多镀层检测中,其测量速度与本公司以往机型(FT9500X,以下相同)相比,提高了2倍以上。在「FT150h」里通过新开发的聚光导管也可以测量超小型芯片零部件的端子镀层厚度。而且跟以往机型相同,为操作员的安全和安心考虑,采用X射线泄露的可能性极小的密集型框架。新设计的样品室门采用大开口,同时保证了开启和关闭的便捷性。并且通过大型观察窗口,可以方便地取放和定位样品。另外,操作软件通过图标和便捷画面在提高了操作性的同时,可通过数据自动保存功能减轻操作员的业务。通过这些改进,「FT150系列」实现了高精度?迅速的镀层厚度测量,为测量工作的效率化和成本削减做出了贡献。
概述:
SFT9000系列里最好的机型“SFT9455”,搭载75W高速X射线管和双重检验装置(半导体检验装置十比
例计数管)。适用“薄膜”、“金属膜”、“极微小部分测定”等所有镀膜膜厚测定要求的高性能膜
厚测量仪器。而且 “SFT9455”在镀膜厚度测量功能的基础上还可以用作异物定性分析和材料成分分析。
主要特点: