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Nanosystem NVF-2700 非接触式3D轮廓仪通过的技术力对多样研究所有的表面提供优化解决方案。所有的功能实现全自动快速运转。
NVF-2700可以快测量所有表面的测量仪，利用持有的白光干涉仪WSI和相应算法开发的产品。X，Y，Z轴全部设计为全自动，通过可调节F.O.V镜头，自动构成多样的倍率。此产品专为研究所，大学和工艺管理而制作的产品。此设备可以通过拼接（Stitching）功能可以进行大面积（500?）测量。
得到的WSI/PSI技术，只需要表面有1%的反射率即可测量，表面现象中的高度，宽度，幅度，粗糙度(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等各种项目均可测量。
此外，WSI的高度分辨率为0.1nm，2秒钟时间即可扫描所有的表面，在不破坏样品的情况下,可测定0.1nm到1000um的样品，均可观察2D/3D的现象。不仅如此，更是保障了0.1%(1σ)世界水准的重复性，本公司保有的技术可应用于 PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方面。
Nanosystem NVF-2700 非接触式3D轮廓仪的优点
· 优良的测量精度
· 抗振动设计
· 快速测量速度
· 友好的测量界面
· Stitching功能
· 2D和3D多功能性能
主要功能
· 3D 形貌测量
· 粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (选项)
· 高度，深度，宽度(从亚纳米到10mm)·
· 面积信息(体积，面积)
· 2D和3D 测量
特点
Fast ,Reliable, Fine = Reducing R & D Time
纳米级的几何光学测量
粗糙度，段差，细微形貌，薄膜表面
Full range scan只需要两秒! 扫描速度Max. 116μm/S
两步A/F简单准备的全自动聚焦
ISO Roughness参数（ISO25178/12781/4287等）
可一次性分析透明薄膜厚度及内部形貌（选购）
产品规格：
测量方法：白光扫描干涉法/相移干涉法
FOV镜头：4位电动转塔，可加装F.O.V（选项）
干涉物镜：5物镜可选(程控）
光源：白光LED照明
扫描范围：≤270um（PZT）
扫描速度：12μm/sec (1x~5x用户可选)
垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm
横向分辨率：0.2-4μm（取决于物镜和FOV）
台阶高度重复性：0.1％@1σ (标准8um台阶样品)
倾斜度：±6°
XY行程：100mmX100mm
工作台尺寸： 230X230mm（程控）
选项
FOV镜头： 0.5X，0.75X，1X，1.5X，2X(可选)
干涉物镜：2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可选)
扫描范围：多达可达10mm（电机扫描选项）
关键词： Nanosystem NVF-2700 非接触式3D轮廓仪
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