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赫尔纳贸易(大连)有限公司 主营产品:阀门,仪表,流量计,电磁阀,LNG系列

第12年

当前位置: 阿仪网 > 赫尔纳贸易(大连)有限公司 > 产品展示 > 电容 > 德国SPS International 晶圆搬运 WHS-V6—— 无绳便携真空晶圆吸笔WHS-V6

德国SPS International 晶圆搬运 WHS-V6—— 无绳便携真空晶圆吸笔

价格:¥ 电议

品牌名称:$brandModel.Title型号:WHS-V6 原产地:中国大陆 更新时间:2026/10/21 9:43:27

产品摘要:洁净室内人工取放晶圆依赖厂务真空管路,线束妨碍移动,自动化设备卡盘后滞留的晶圆又如何无损取出?SPS International晶圆搬运工具WHS-V6以电池驱动产生600 mbar真空,拿起即吸、放回底座即停,配H14 HEPA过滤,洁净度ISO 3级。赫尔纳供应,德国总部直接采购,近30年进口工业品经验,原装产品,支持选型,提供一对一解决方案。

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详细内容

SPS International 晶圆搬运 WHS-V6—— 无绳便携真空晶圆吸笔

洁净室内人工取放晶圆依赖厂务真空管路,线束妨碍移动,自动化设备卡盘后滞留的晶圆又如何无损取出?SPS International晶圆搬运工具WHS-V6以电池驱动产生600 mbar真空,拿起即吸、放回底座即停,配H14 HEPA过滤,洁净度ISO 3级。赫尔纳供应,德国总部直接采购,近30年进口工业品经验,原装产品,支持选型,提供一对一解决方案。

公司介绍

WHS-V6由SPS International(SPS-Europe)原厂制造。公司1988年由Rick Hilhorst创立,其后陆续设立SPS UK(1989)、SPS德国(1990)、SPS Asia新加坡(2009)与SPS法国(2018),2000年建成带洁净室的自有总部与仓储;三十余年围绕晶圆搬运与输送、湿法/ CMP、光刻与薄膜工艺供货,与全球晶圆厂、设备OEM及研发机构协同定制产品,制造环境通过ISO 9001与CE认证。

产品类型

SPS的产品线覆盖晶圆搬运耗材与湿法工艺设备,主要类别如下:

·无绳便携真空吸笔:WHS-V6系列

·台式真空吸笔:WHS-V7

·小型器件真空吸笔:WHS-V8

·有线真空吸笔手柄与真空管:WHS-V2、WHS-V3

·防静电真空吸笔头与吸嘴(PEEK、UHMW、硅胶、)

·匀胶/显影湿法设备:POLOS旋涂机

·台式刻蚀机与清洗台

·无掩膜光刻设备

·工艺设备升级与二手设备翻新服务(Semitool体系)

主要型号

以下型号均为官网在册产品:

·WHS-V6-200:无绳吸笔本体,适配150–200 mm晶圆,含PEEK吸笔头

·WHS-V6-300:无绳吸笔本体,适配300 mm晶圆

·WHS-V6 Small Device:小型器件款

·WHS-V7:台式便携真空吸笔

·WHS-V2:有线吸笔手柄系列

·WHS-V3:防静电真空软管

·WHS-V8:小型器件吸笔及针杆

·WHS-V1-AP4NST:防静电PEEK真空吸笔头

·POLOS:匀胶/显影湿法工艺平台

·SPIN150i:旋涂机

产品概述

SPS International晶圆搬运WHS-V6是电池驱动、无管路连接的手持真空吸笔,用于洁净室内晶圆的人工取放、分选、检验与卡盘救援,吸笔头可快速更换为小型器件适配器。

核心技术参数(据官网产品页与WHS-V6数据表):

·适用晶圆:150–200 mm(WHS-V6-200);另有300 mm与小型器件款

·真空度:600 mbar(17.7 inHg)

·续航:单节可更换锂离子电池,连续工作5小时以上

·过滤:H14 HEPA,对0.3 µm颗粒过滤效率99.99%

·洁净度等级:ISO Class 3

·结构:防静电(ESD-safe)人体工学外壳

·充电:无线智能充电底座,带过充保护;LED电量指示条

·阀门:常开真空流路,取起自动启动、放回底座自动停机

·认证:ISO 9001、CE

·吸头:随机配WHS-V1-AP4NST PEEK吸笔头,支持快换

工作原理与结构特点:笔身内置微型真空泵与可充电锂电池,流路设常开阀——吸笔离开充电底座即抽真空吸附晶圆,放回底座即破真空并开始充电。气流经H14 HEPA后再排向洁净环境,避免泵体粉尘反吹污染晶圆面。吸笔头采用防静电PEEK并配UHMW接触垫,贴附晶圆背面不产生划伤与静电放电;快换接口可换装不同直径吸头或小型器件针杆,无需整笔更换。

优势特点

·摆脱厂务管路:无线设计在洁净室内任意位置移动,取消真空软管后无缠绕,卡盘救援时可伸入设备腔侧取片。

·拿取即用:取起自动抽真空、放回自动停机,省去按键动作;LED电量条实时显示剩余电量,避免作业中途断电。

·低颗粒污染:排气端H14 HEPA过滤0.3 µm颗粒达99.99%,整机洁净度ISO Class 3,适配晶圆正面朝上的手工操作。

·ESD安全:防静电外壳与导电PEEK吸头释放静电,保护薄栅氧化层与MEMS器件不受放电损伤。

·电池可更换:用户自换锂离子电池加智能充电底座防过充,续航超5小时,单班作业无需频繁等待充电。

主要应用

·人工分选与并批:在母批内逐片取出、合并批次、补入测试片或替换破损片,吸笔定位精度满足逐片对位。

·缺陷检验:从FOUP/cassette中抽出单片,置于专用光源下检查划痕、颗粒与图形缺陷后放回原位。

·卡盘救援:自动化机械手失效时,从cassette、pod或工艺设备腔体内取出滞留晶圆,避免破片损失。

·小批量试制与研发线:R&D实验室与MEMS、生物技术线小批量上下料,不占用自动化设备机时。

·小型器件搬运:换装Small Device适配器后取放光电器件、光学镜片与芯片级样品。

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热门标签:德国SPS,International,SPS真空晶圆吸笔,SPS进口真空晶圆吸笔

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