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详细内容
供应德国sonosys发电机—赫尔纳贸易
供应德国sonosys发电机,货期短,支持选型,为您提供一对一解决方案,在中国设有8个办事处,可为您提供售前、售中和售后服务。
sonosys发电机介绍:
SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH于1995年在德国诺伊恩比尔格成立,是一家专注于高频超声波和兆声波清洗技术研发与制造的厂家。公司长期聚焦于400kHz至9MHz频率范围的清洗系统,主要服务于对微粒去除精度有较高要求的工业领域。
SONOSYS强调与客户及研究机构的协作式开发模式,其产品开发过程注重实际应用需求的转化。公司与弗劳恩霍夫研究所、马格德堡大学等科研机构保持技术交流,在此基础上不断优化清洗方案。其产品系列涵盖兆声波发生器、换能器、喷嘴系统及浸入式清洗系统等,至今已向市场交付超过4500套设备。
公司的运营理念体现于其座右铭“共同掌握纳米清洁”,即在理解客户具体工艺条件的前提下,提供有针对性的清洗技术方案。
sonosys发电机主要产品
SONOSYS的产品体系围绕兆声波清洗技术展开,主要包括以下几类产品:
MLM系列兆声波发生器(低功率模块)
MHM系列兆声波发生器(高功率模块)
Premium Digital系列数字式兆声波发生器
sonosys兆声波单喷嘴/双喷嘴/三喷嘴系统
sonosys兆声波花洒式喷嘴(Shower Nozzle)
FTF面对面换能器(Face-to-Face Transducer)
sonosys兆声波浸入式换能器
sonosys兆声波雾化器
sonosys发电机主要型号
根据频率、功率和应用场景的不同,SONOSYS提供以下代表性型号:
MLM系列(600kHz / 1MHz / 2MHz / 3MHz / 4MHz / 5MHz)
MHM系列(400kHz / 600kHz / 1MHz / 2MHz)
Premium Digital系列数字发生器
单喷嘴系统(600kHz至9MHz八种频率可选)
双喷嘴系统(可组合频率,如1MHz+3MHz、2MHz+4MHz)
三喷嘴系统(可组合频率,如1MHz+3MHz+5MHz)
花洒式喷嘴(1MHz,多种长度规格:44/118/405/670mm)
FTF 1MHz换能器系统(含MGH 150W发生器)
sonosys发电机产品介绍
1. MLM系列低功率兆声波发生器
该系列支持600kHz至5MHz的频率范围,采用模块化19英寸机架设计。每个机箱最多可安装6个MLM模块,单个模块输出功率为60W。发生器具备自动调谐功能,可根据换能器状态优化匹配,反射功率较低,有助于提升能量利用效率-2⁻⁷。
2. MHM系列高功率兆声波发生器
该系列提供400kHz、600kHz、1MHz和2MHz四种频率选项。在400kHz至1MHz条件下,单机箱总输出可达2000W;2MHz条件下为1200W。输出功率可在10%至100%范围内调节,且输出阻抗为50Ω,可适配不同厂商的换能器产品。
3. Premium Digital系列数字式发生器
该系列采用数字控制技术替代传统模拟发生器。可通过Modbus协议经服务器进行远程功率控制,并实时监测温度、实际输出功率、故障状态等运行数据。设备配备LCD面板,可直接读取各模块的运行参数,另提供配套应用软件用于参数设置与监控。
4.兆声波喷嘴系统
喷嘴通过流动介质(如去离子水)将兆声波能量传导至基板表面,能量聚焦于2mm或4mm宽度的区域。单喷嘴适用于局部定点清洗;双喷嘴和三喷嘴可同时输出两种或三种频率,扩大可去除的颗粒尺寸范围。材料方面,壳体可选PTFE、PCTFE或不锈钢,喷嘴尖端可选石英玻璃或不锈钢,以适应不同化学环境。
5. FTF面对面换能器系统
该系统的换能器安装距离基板约1.5mm,可将兆声波能量较为均匀地传递至晶圆表面。配套的MGH发生器输出功率150W(调节范围约20%-100%),采用19英寸机箱设计,重约4.5kg。换能器壳体材质为PFA,转换区尺寸约150×25mm-4。
sonosys发电机优势特点
1.较宽的频率覆盖范围
SONOSYS可提供从400kHz到9MHz的兆声波发生器和换能器,在同一技术平台下覆盖了粗洗到精密清洗的不同需求。较高频率(如5MHz以上)对亚微米级颗粒的去除能力较强,同时对待清洗表面的作用较温和。
2.模块化设计与较小的空间占用
MLM、MHM及Digital系列均采用19英寸模块化机架结构,多模块可集成在同一机箱内。这种设计使设备在控制系统中的安装空间需求较小,同时便于维护和扩展。
3.自动调谐与低反射功率
发生器具备自动调谐功能,能够根据换能器的实时状态进行匹配调整,减少反射功率。这有助于保证清洗过程的重复性,同时提高电能向声能的转换效率。
4.数字控制与远程管理能力
Premium Digital系列支持Modbus远程控制协议,可实现功率调节、开关控制及运行数据的实时回传。这对于需要集中监控的半导体生产线而言,有助于提升自动化水平。
5.灵活的配置选项
喷嘴系统提供单/双/三喷嘴结构,用户可根据基板尺寸和污染物类型选择不同的频率组合。发生器除适配SONOSYS自有换能器外,也可通过50Ω输出端口匹配第三方产品。
sonosys发电机应用领域
1.半导体制造(晶圆清洗)
兆声波清洗用于去除晶圆表面的颗粒污染物,尤其是制程中对纳米级微粒的控制要求较高时。FTF换能器和喷嘴系统可集成于单片清洗设备中。
2.微机电系统(MEMS)制造
MEMS器件具有精密的微结构,传统超声波清洗可能导致结构损伤。兆声波清洗采用较高频率、较低能量密度的方式,可在有效去除微粒的同时降低损伤风险。
3.光学元件与光掩模清洗
光学元件和光掩模对表面洁净度要求较高,且对划伤敏感。兆声波花洒式喷嘴可实现非接触式清洗,适用于平板显示基板、掩模版等产品的颗粒去除。
4.连接技术与精密机械
在微系统技术、LIGA技术和精密机械领域,兆声波清洗可用于去除微型零件表面的加工残留物,保证后续装配或镀膜工艺的质量。
5.太阳能光伏(PV)
太阳能电池片制造过程中,兆声波清洗用于去除硅片表面的切割损伤层污染物,有助于提升后续工艺的稳定性和电池转换效率。
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