比利时Xeryon微型线性压电位移台XLA系列
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品牌名称：$brandModel.Title型号：XLA系列 原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/9 7:25:27
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详细内容
比利时Xeryon微型线性压电位移台XLA系列：突破尺寸与性能边界的微型运动解决方案
在微纳精密运动控制领域，工程师常面临两难选择：是采用传统压电驱动器牺牲速度和行程以换取精度与紧凑性，还是选择电磁电机忍受其庞大的体积和持续功耗？比利时Xeryon微型线性压电位移台XLA系列通过创新的Crossfixx™超声波压电驱动技术，打破了这一长期存在的技术瓶颈。赫尔纳供应，德国总部直接采购，近30年进口工业品经验，原装产品，支持选型，提供一对一解决方案。
公司介绍
Xeryon是一家专注于设计和制造突破性压电运动解决方案的比利时公司。公司于解决传统微型驱动器在速度、行程和耐用性方面的固有限制，其研发的XLA系列代表了微型线性压电驱动领域近十年来的显著创新。Xeryon提供从核心驱动器到集成控制器、软件开发套件和评估套件的完整解决方案，其产品被应用于从生命科学仪器到新兴可重构智能表面驱动等多个前沿领域。
产品类型
Xeryon品牌主要提供基于压电技术的微型运动控制组件与系统：
· 微型线性压电位移台（XLA系列）：超紧凑、高精度的微型线性驱动器，具备多种规格。
· 压电控制器：包括集成于驱动器内部的控制器以及外置的XD-OEM控制器PCB。
· 开发套件：包含驱动器、控制器、电源、线缆和演示程序的完整评估套件，便于快速集成与原型开发。
· 软件与API：提供Windows图形界面、LabVIEW/Matlab脚本以及C++/Python库，用于设备控制与系统集成。
主要型号
XLA系列包含多个型号，主要区别在于驱动力、尺寸和行程范围。
型号 | 关键区别 |
XLA-1 | 提供1N驱动力，宽度仅5.4毫米，适合对空间限制极为严苛的高精度应用。 |
XLA-3 | 提供3N驱动力，在驱动力和尺寸间取得平衡，适用于通用型精密定位任务。 |
XLA-5 | 提供5N驱动力，宽度约9.1毫米，适合需要中等负载能力的应用。 |
XLA-10 | 提供10N驱动力，宽度11.5毫米，是系列中驱动力最大的型号，适用于大负载应用。 |
产品概述
Xeryon XLA系列微型线性压电位移台是一种基于Crossfixx™超声波压电驱动技术的超紧凑、闭环控制直线驱动器。其核心功能是在毫米级的封装尺寸内实现毫米级行程、纳米级分辨率和毫秒级响应速度，同时保持断电自锁能力。该系列采用无铁芯、非接触式设计，从根本上消除了磁滞、发热和磨损问题。
技术参数（典型配置）：
· 驱动力：1N, 3N, 5N, 10N。
· 最大行程范围：可达150毫米。
· 分辨率/重复精度：分辨率可达78纳米，重复精度优于80纳米。
· 最大速度：最高可达85.6毫米/秒。
· 控制方式：闭环控制，内置或外置编码器。
· 物理尺寸：最窄型号宽度仅5.4毫米。
优势特点
· 紧凑尺寸与高功率密度：XLA-1型号宽度仅5.4毫米，却能在紧凑空间内提供毫米级行程和毫秒级响应速度，解决了传统电磁驱动器因体积过大而无法集成的问题。
· 纳米级定位精度与稳定性：采用闭环控制和内置编码器，分辨率可达78纳米，重复精度优于80纳米，为显微操作、光束对准等应用提供亚微米级稳定定位。
· 零功耗位置保持与快速响应：基于压电效应，断电后能保持位置，无需持续通电，降低了系统能耗和热管理需求；同时，其超声波驱动方式可实现毫秒级的快速启停与响应。
· 无磁干扰与耐真空环境：驱动器本身不产生磁场，且结构适合真空环境，可直接应用于电子显微镜、光谱仪等对磁场敏感或需在真空腔体内工作的精密仪器。
主要应用
· 半导体制造与光刻设备：用于晶圆对准、掩模版定位和探针台微调，其纳米级精度和快速响应能力可提升制程良率和设备吞吐量。
· 生命科学与医疗设备：集成于共聚焦显微镜、流式细胞仪和微流控芯片中，实现细胞操纵、样本扫描和高通量筛选的自动化精密控制。
· 光学与光子学系统：用于光纤对准、激光束整形、可调谐滤波器驱动以及自由空间光通信中的光束指向控制，其无磁特性避免了磁场对光路的干扰。
· 前沿科研与定制仪器：作为可重构智能表面（RIS）中移动天线（MA）的驱动元件，实现毫米波通信链路的动态优化；也广泛应用于大学和研究所的自研精密测量仪器中。
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