台面尺寸(mm)

60×60

60×42

台面厚度(mm)

20

25

30

40

40

-

移动量

粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm

θx：±3°；θy：±3°

导向机构

线性滑块导轨

交叉滚柱导轨

圆弧导轨

驱动

分厘卡

分厘卡

主体材料及表面处

理

铝合金，黑色阳极氧化处理

铝合金，黑色阳极氧化处理

自重(Kg)

0.28

0.32

0.4

0.43

0.4

分辨率

粗调：≤10µm/刻度；精调≤0.5µm/刻度

θx：≤29.4″/刻度；θy：≤27.7″/刻度

静态平行度

≤60µm

-

运动平行度

≤10µm

-

运动直线度

≤4µm

-

-

台面旷量/前后

≤8µm

-

台面旷量/左右

≤8µm

-

负载(Kg)

5

6

5

2.5

1.5