适用行业

应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

二、厌氧烘箱，厌氧固化烘箱技 术 参 数

1、设备名称

高温无尘无氧烤箱

2、设备型号

JS-MOY系列

3、设备主要技术参数

3.1 工作室尺寸

W600mm×D600mm×H600mm可定制

3.2 材质

外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢

3.3 温度范围

RT+10-450℃

3.4 温度分辨率

0.1℃

3.5 温度波动度

＜±0.5℃

3.6 温度均匀度

≤±1.5%

3.7 洁净度

class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境

3.8电源及总功率

AC 380V±10% / 50HZ 总功率约21.0KW

3.9 升温速度

可要求

3.10降温速度

平均降温速度要求

3.11氧含量

高温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量
低温状态氧含量：≤ 100ppm +气源氧含量

4、系统结构

4.1

热

风

循

环

系

统

4.2

气

体

系

统

4.3

降

温

系

统

4.4

温

控

系

统

4.5

软

件

控

制