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更新时间:2026/11/6 9:45:40关注度:1777
关键词标签:真空固化烤箱,防氧化真空系统
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无氧真空系统用于键合前键合材料的真空处理 、ITO膜退火,PR胶排胶固化等工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业,适用于工厂、高等院校、科研等场所。
二、真空固化烤箱,防氧化真空系统技术性能参数
| 1、设备名称: | |
| 名称 | 无氧真空系统 |
| 2、设备型号: | |
| 型号 | JS-GYZF系列 |
| 3、设备主要技术参数: | |
| 3.1 工作室尺寸 | 450×450×450,600×600×600(mm) |
| 3.2 材质 | 内箱采用316L医用级不锈钢,外箱采用优质冷轧板静电喷塑 |
| 3.3 温度范围 | RT+10-300/450℃ |
| 3.4 温度分辨率 | 0.1℃ |
| 3.5 温度波动度 | ≤±1℃ |
| 3.6 温度均匀度 | ≤2%MFS |
| 3.7 升温速率 | ≤10℃/min |
| 3.8 降温速率 | 特殊要求数据 |
| 3.9 真空度 | ≤133pa或要求数据 |
| 3.10 电源及总功率 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
| 3.11 温度控制仪表 | 可编程触摸屏仪表,可校准温度,PID自整定等功能 |
| 3.12搁板层数 | 316L不锈钢托盘2层,配有限位装置 |
| 3.13真空泵 | 油泵/干泵 |
| 3.14 腔门密封圈 | 采用耐高温硅橡胶密封圈 |
| 3.15 状态指示灯 | 配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态 |
| 3.16 氧含量 | 特殊要求数据 |
| 3.17 洁净度 | Class100、1000级 |
| 3.18 降温系统 | 选配 |
| 3.19 氮气控制 | 工艺要求 |
| 3.20 安全保护装置 | 安全的接地保护装置,超温保护及报警装置,漏电保护装置。 |
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