无氧化烤箱利用充氮气提供无氧化烘烤空间， 确保产品不氧化。适用于IC封装、晶圆烘烤、PI固化、BCB胶固化、ITO模具退火、镀膜制程等半导体行业，电子行业及各种产业应用。

无氧化烤箱，高温无氧固化炉结构：

1.箱体结构：

内箱采用SUS304镜面不锈钢制作，以全周氩弧焊无缝处理；

外箱采用SUS304不锈钢或优质冷轧板静电喷塑处理；

外箱保温材质採用高级超细保温棉，六面保温断热，机台表面温度低。

2.气体系统：

马达轴心以特殊轴封密闭，气密性佳，含氧量可低至50PPM以上；

箱体内装有氧含量分析仪，全称检测氧含量；

排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N2流量计控制进气量。

3.热风循环系统：

特殊节约能源高效率送风结构；

采用不锈钢覆套式无尘无氧化电热发生器；

箱体后部装有离心循环风机、氮气进气口和排气口，离心风机将箱内加热的热风与进气口的新鲜氮气混合，一部分气体混合烘干处理产生的废气物从排气口排出，大部分气体进入箱体两侧的循环风道，携带加热器产生的热量，进入箱体内对产品进行加热烘烤，然后由离心风机重新吸回，从而往返循环。

4.降温系统：

风冷或水冷却循环系统。

5.温控系统：

采用高精度温度控制器，内置斜率设定、PID自整定、高温上限报警、热电偶失效指示等多种功能。