内腔尺寸 W600mm×D600mm×H600mm
材质 外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢
温度范围 RT+10-300℃
温度分辨率 0.1℃
温度波动度 ＜±0.5℃
温度均匀度 ≤±1.5%
洁净度 class 100-1000，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
电源及总功率 AC 380V±10% / 50HZ 总功率约15.0KW
升温速度 5-8℃/min
降温速度 降温5℃/min或自定义
氧含量
高温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量
低温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量
无氧化烤箱，氮气无氧化烤箱概述

无氧化烤箱箱体内装有氧含量分析仪，全称检测氧含量，可设置超标报警功能。排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N2流量计控制进气量。

翅片式水冷散热器，冷却水通过散热器快速带走更多的热量，使得箱内温度快速下降，缩短降温时间，提高生产效率。