无尘烘箱，无尘固化烤箱技术参数
1、 无尘等级：Class 100;
2、 温度均匀度：±2℃;
3、 温度波动度：±0.5℃（空载）；
4、 温控精度：±0.1℃;
5、 温度范围：RT+10-200/300℃;
6、 升温速率：≥8℃/min（可修改）；
7、 内腔材质：SUS304＃镜面不锈钢；
8、 外箱材质：优质冷轧板喷塑或SUS304＃不锈钢；
9、 密封条：耐高温氟橡胶密封条；
10、氮气装置：可调式浮子流量计；
11、安全装置：漏电保护，超温保护，三色提示灯等。

无尘烘箱，无尘固化烤箱概述
无尘烤箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。

无氧化烤箱，高温无氧化烤箱概述

无氧化烤箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，形成高温、低氧（无氧）、洁净环境，特别适合半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求，广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。

无氧化烤箱，高温无氧化烤箱技术参数

Ø 内部尺寸：600*700*800mm(深*宽*高)

Ø 材质：外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用SUS304不锈钢

Ø 温度范围：RT+10-250℃

Ø 温度分辨率：0.1℃

Ø 温度波动度：＜±1℃

Ø 温度均匀度：≤±1.5%

Ø 升温速率：5℃/min，（空箱测试）

Ø 降温时间：可满足180℃-60℃，降温4℃/min（空箱测试）

Ø 电源：380V 50HZ ,6KW

Ø 计时功能：具有独立的计时器，计时开关，计时报警器

Ø 氧含量

高温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量

低温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量

Ø 氮气控制：流量计节氮系统，无氧、低氧环境下最大节省氮气消耗量

Ø 鼓风装置：采用大功率耐高温长轴马达，大口径不锈钢涡轮扇叶，可在高温环境下长期稳定工作

Ø 氮气净化系统：微型油水尘埃过滤组mini fulter，可对氮气油水、0.1μm颗粒进行过虑