SECS/GEM协议无尘烘箱，无尘烤箱#2023已更新http://www.app17.com/c62303/products/d13084413.html

高精度恒温加热台，高精度热板，高温wafer热板，半导体用氮气烘箱，可编程充氮烘箱，水冷超低温试验箱，机械式-150度低温试验箱

一．SECS/GEM协议无尘烘箱，100洁净烤箱概述

百洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。设备可以使用TCP / IP（使用HSMS标准，SEMI E37）或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息进行监控和控制。

二．SECS/GEM协议无尘烘箱，100洁净烤箱特点

Ø SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处理，收集测量数据，更改变量并为产品选择配方。 SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型）标准以确定的方式完成所有这些工作。

Ø 在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等达到Class 100；

Ø 全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

Ø 采用单面水平由后向送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；

Ø 强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到佳温度控制精度。

三．SECS/GEM协议无尘烘箱，100洁净烤箱技术参数

1.主要技术指标

Ø 无尘等：Class 100/10;

Ø 温度均匀度：±2℃;

Ø 温度波动度：±0.5℃（空载）；

Ø 温控精度：±0.1℃;

Ø 进风口：φ6mmN2进气、流量计控制;

Ø 排风口： φ3”排风管（外接φ5＂法兰）;

Ø 网板：2-5层，

Ø 洁净度：100的洁净热处理HEPA过滤器与出风水平层对流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100洁净度。

四．SECS/GEM协议无尘烘箱，100洁净烤箱常用规格

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

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