高温无尘无氧烘箱，晶圆无氧烤箱​概述

高温无尘无氧烘箱，晶圆无氧烤箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

高温无尘无氧烘箱，晶圆无氧烤箱技术指标

Ø 洁净度：class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境

Ø 升温时间：5-8℃/min，（空箱测试）

Ø 降温时间：可满足130℃-50℃，降温5℃/min（空箱测试）

Ø 氧含量

(配氧含量分析仪)高温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量

低温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量

Ø 数据输出：温度和氧含量无纸记录仪

高温无尘无氧烘箱，晶圆无氧烤箱设备环境安装条件

Ø 环境温、湿度5℃～＋35℃，相对湿度：≤85%；

Ø 周围无强烈震动；

Ø 无阳光直接照射或其它热源直接辐射，

Ø 周围无强烈电磁场影响；

Ø 周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质；

Ø 百级洁净车间；

Ø 周围无强烈气流，当周围空气需要强制流动时，气流不应在直接吹到箱体上；

Ø 设备应放在坚固平稳的平面上，并使其保持水平状态；

Ø 安装设备使用空开电源 ；

高温无尘无氧烘箱，晶圆无氧烤箱​安全保护性能

Ø 提示功能： 1）三色灯 2） 超温 3）热电偶故障 4）低水压

Ø 安保功能：1）短路保护

2）漏电保护

3）超温保护，独立感温式超温保护器

4）电机保护，电机过电流、水冷保护

5）电磁门禁保护，当温度超过100℃，电子锁自动锁紧，防止高温开门