洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构，全部采用无尘材料。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。

洁净烘箱特点

1、全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
2、耐高温，可以达到和工作场同样的洁净等级；

洁净烘箱执行与满足标准
GB/T11158-1989高温试验箱技术条件
GB2423.2-1989试验B

洁净烘箱用途

洁净烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。
洁净烘箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。

洁净烘箱技术参数

1、名称：洁净烘箱

2、主要技术指标：

2.1温度范围： RT（室温）+10～300℃；

2.2温度偏差：≤±2.0℃；

2.3升温速度：≥2℃/min；

2.4洁净等级：千级以上；

2.5工作尺寸：W600×H550×D600mm；

2.6电源：AC380V 50HZ 4.5KW ；

3、箱体结构：

3.1箱体材料：外箱采用优质冷轧板烤漆；

3.2内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢；

3.3保温材料：超细玻璃棉；

3.4排 气 口：ф50；

3.5 隔 板：2层，不锈钢冲孔，承重约30KG；

3.6空气循环装置：大容量轴流电机；

3.7加热方式：不锈钢电加热器；

4、温控系统

4.1温度测量传感器：Pt100 铂电阻；

4.2控制仪表：日本富士温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；

4.3超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；

4.4控制系统：主要电器件均采用施耐德、欧姆龙等进口元气件；

光刻胶真空烘烤箱

窗体顶端

真空烤箱用于半导体制造中硅片、铌酸锂、玻璃等材料涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。

技术参数：
1. 型号:JS-DCOL
2. 工作尺寸(mm):W450×H450×D450
3. 温度范围：RT＋10℃～200℃
4. 温度分辨率：0.1℃；
5. 达到真空度：133Pa
6. 波 动 度：±0.5℃
7. 电 源：220V 50Hz 3.5KW；
8. 箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止

微尘(PARTICLE),内室材料：采用SUS304不锈钢,保温材料：超细玻璃棉；
9. 真空度显示方式：数显；
10. 加热方式：不锈钢电加热器；
11. 温度测量传感器：Pt100 铂电阻；
12. 控制仪表：数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；

13. 采用进口Edwards干式真空泵
14. 控制系统：主要电器件均采用正泰、欧姆龙等品牌元气件；
15. 隔 板：2层，不锈钢，承重约30KG。