本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。

PI 无尘烤箱，BCB固化烤箱技术指标：

1.1 无尘等级：Class100：（符合FED-STD 209E标准：0.3um≤300个0.5≤100个）

1.2温度范围：+60℃~ +400℃（极限温度450℃）

1.3温度均匀性：±2℃（空箱测试）

1.4温度精确度：±1℃（空箱测试）

1.5设备型号规格

PI 无尘烤箱，BCB固化烤箱箱体结构：

3.1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，N₂ 进气排气及外循环水冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。

3.2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，

内胆材料：内箱采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。

3.3保温材料：采用正厂中央玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，有效的防止了热能浪费。

3.4电热部分：采用进口覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器

3.5风道部分：整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A，(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100；

3.6排气及进气：排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N₂流量计控制进气量，入气口10mm氧含量可达到40PPM以下

3.7外循环水冷部分：采用纯铜蛇形毛细管分布排列在中筒周围,并有水流量报警控制从而达到理想的控制降温效果。

PI 无尘烤箱，BCB固化烤箱可靠先进的测控系统

5.1温度控制装置：日本进口RKC PF900系列温控器，内置PID自动整定，斜率设定功能

5.2控制系统采用日本三菱公司FX3G系列高速型逻辑控制器，可与现场总线联机远程操控。

5.3温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出，温度采集探头为特制铠装K型热电偶

5.4温度监控装置：采用日本横河六通道巡回检测 有纸记录仪，可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。

PI 无尘烤箱，BCB固化烤箱完善的控制系统，及安全防护措施

7.1操作控制系统，采用日本MITSUBISHI公司的FX-3G系列可编程控制器，程式化操作更可靠，更高效。

7.2含氧量分析系统，采用日本TORAY RF-400系列氧含量分析仪，可实时监控箱体内的氧含量。

7.3防护措施：超温保护,断线报警，相序保护，过载保护，短路保护，漏电保护，及电磁门禁保护等。

PI 无尘烤箱，BCB固化烤箱设备使用条件：

9.1环境条件:温度5~40℃之间：湿度≤85%R.H：

9.2电 源：3P AC380V，50H_Z

9.3使用环境：无强烈振动，无强烈磁场影响，无腐蚀性气体：

9.4气 压：86~106K_pa：

9.5安装使用环境：箱体周围应留有500mm的空间供产品安装，维修使用。