烤胶机 智能型烘胶台 高精度热板简介

光刻工艺及其相干技术是微电子机械系统（MEMS）加工工艺的重要构成部门。均胶以及烘焙是光刻工艺中不成缺少的一道儿工序，为增长胶层与硅片表面粘附能力，提高在接触式暴光中胶层与掩模版接触时的耐磨性能及不变胶层的感光灵敏度。高精密程控烤胶机是一种设计为精确控温、准确计时和接近式加热的高性能实验室设备，可实现智能化编程烤胶控制。

烤胶机升温速度快，由高性能数显温控表加热控制，长寿命、高热均匀性的发热部件供热，高硬度、耐腐蚀的阳极氧化铝面板。

适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，光刻胶快速固化,制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。热板温度稳定度高，重复性好。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

烤胶机 智能型烘胶台 高精度热板性能：

加热尺寸：220*220mm,450*550mm/可定制；

温度范围：RT～300/400/500°C ；

温度精度：0.1°C；

温度均匀性：≤±1℃；

电动顶针调节高度: 0～30mm；

限位装置：配有4根限位针；

加热台表面：耐腐蚀硬质阳极氧化铝制成；

真空吸附：样品接触加热台后真空吸附，可设置延时吸附；

加热台外壳：优质冷轧板喷塑；

控制器单元：7寸全彩触摸屏，PLC控制，实现在指定时间内自动升降，

可以定时取片；

电压：220V / 50HZ；

功率：2500W；