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外延片烘箱，氮气洁净烘箱作用

氮化镓外延片工艺是一种用于制备氮化镓外延片的工艺，主要包括表面清洗、氮化处理、清洗处理、干燥处理和检测处理等步骤。干燥处理是将清洗后的外延片放入烘箱中，进行干燥处理，以去除清洗液中的水分。将所述外延片放入烘箱中,在120℃～140℃的温度下,将所述外延片烘烤10～30分钟。

氮气是惰性气体，不易与其他物质发生反应。在日常生产生活中，氮气常作为气源，且不与需要气源的电器和气动元器件产生氧化和腐蚀，既可杜绝细菌和噬菌体在元器件中滋生和污染，也可延长电器元器件和气动元器件使用寿命。氮气广泛存在与大气中，干燥洁净且不含水，不含油，因此常作为干燥气体使用。

目常用的外延片生产用氮气干燥箱通常将送入的气体通过过滤网过滤分散后送入干燥箱箱体内部，进而对需要干燥的物体进行干燥。

外延片烘箱，氮气洁净烘箱性能要求：

温度范围：RT～200/300℃；

温度均匀度：±1.5%℃;

温度波动度：±0.5℃（空载）

温控精度：±0.1℃;

工作尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×500

600×700×800（可定制）

网板：2-4个

可扩展功能：

氧浓度检测，无尘无氧烘箱

智能联网功能，MES等工业自动化软件

扫码枪，扫码溯源，一键读取

自动门控，上位机程控，机械手搬运产品

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

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