氮化镓外延片工艺是一种用于制备氮化镓外延片的工艺，主要包括表面清洗、氮化处理、清洗处理、干燥处理和检测处理等步骤。干燥处理是将清洗后的外延片放入烘箱中，进行干燥处理，以去除清洗液中的水分。将所述外延片放入烘箱中,在120℃～140℃的温度下,将所述外延片烘烤10～30分钟。

氮气是惰性气体，不易与其他物质发生反应。在日常生产生活中，氮气常作为气源，且不与需要气源的电器和气动元器件产生氧化和腐蚀，既可杜绝细菌和噬菌体在元器件中滋生和污染，也可延长电器元器件和气动元器件使用寿命。氮气广泛存在与大气中，干燥洁净且不含水，不含油，因此常作为干燥气体使用。

目常用的外延片生产用氮气干燥箱通常将送入的气体通过过滤网过滤分散后送入干燥箱箱体内部，进而对需要干燥的物体进行干燥。

外延片烘箱，氮气洁净烘箱性能要求：

温度范围：RT～200/300℃；
温度均匀度：±1.5%℃;

温度波动度：±0.5℃（空载）
温控精度：±0.1℃;

工作尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×500

600×700×800（可定制）

网板：2-4个

可扩展功能：

氧浓度检测，无尘无氧烘箱

智能联网功能，MES等工业自动化软件

扫码枪，扫码溯源，一键读取

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