小型蒸发镀膜仪的产品研发#技术新闻http://www.app17.com/c62303/products/d13066475.html

程式高温厌氧烤箱，百洁净烘箱，百无尘烤箱，充氮洁净烘箱，无氧化充氮烘箱，百无氧烘箱，半导体HMD烘箱

小型蒸发镀膜仪用途

用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜、在衬底上沉积各单层金属 膜，主要用于蒸镀电及有机半导体材料的物理化学性能研究实验研究 。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。

小型蒸发镀膜仪主要技术参数

真空腔室尺寸：Φ300*H400mm,预留膜厚仪接口304不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；

真空系统： 分子泵 +直联旋片泵+高真阀门； “一低一高”数显复合真空计；

限真空： 真空限优于 5×10-5Pa ；

温度范围： RT-600/1600℃，可调可控；

基片台尺寸：大可镀基片尺寸/面积：Φ100mm 范围内可装卡各种规格配 套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。

基片台旋转:0-20 转/分钟，可调可控；

蒸发源及电源：水冷蒸发电，金属蒸发电源；

控制方式：PLC+触摸屏,自动控制；

报警及保护：对泵、电等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；

设备配电： AC220V/50HZ ,功率：3.5KW；

设备尺寸：长×宽×高:500*360*420mm；

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

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