湿敏薄膜用高温无氧烘箱

在聚酰亚胺（polymide, PI）柔性衬底上制作湿度传感器，PI是常见的柔性传感器基底材料，具有化学性质稳定、耐高温、与电材料结合力好的优点。加工方法为将基底溶液聚酰胺酸悬涂在制备有牺牲层的载体硅片上，采用MEMS工艺制作湿度敏感单元，本文制作的湿度传感器采用“三明治”结构，包括上电、感湿层和下电，上下电均采用蒸镀工艺，蒸镀金作为电；感湿膜为聚酰亚胺材料，采用旋涂的方法制备感湿层。

湿敏薄膜制作：将合成的聚酰亚胺躯体聚酰胺酸旋涂在基底上，放入高温无氧烘箱中，100℃保温30min，以5℃/min的升温速度升至150-180℃，保温30min；再以5℃/min的升温速度升至220-250℃保温30min，再以5℃/min的升温速度升至280-300℃保温1 h后升至350-380℃保温1 h，再以3-8℃/min的降温速度降至50-100℃完成聚酰亚胺湿敏材料的固化，湿敏膜厚度2μm.

湿敏薄膜用高温无氧烘箱

工作室尺寸:W500mm×500mm×H500mm.可定制

温度范围：RT+50～450℃

分辨率：0.1℃

波动度：≤±1℃

温度均匀度：≤±1.5%℃

洁净度：Class100/class1000

升温速率：1～10℃/min

降温速率：高温降温至80度平均约4.0℃/min

氧含量：≤20ppm

操作方式：人机界面+PLC，程式工艺一键运行，可保存多个工艺

上海隽思业提供烘烤制程设备、温度检测仪器HMDS烘箱，智能型HMDS真空系统，抗粘剂涂胶机，高精度恒温加热台，高温无氧烘箱，PI烤箱，氮气烘箱，MSD烘箱，低温低湿烘箱， 洁净烘箱，无尘烘箱，高温无尘无氧烘箱，真空无氧烤箱，等离子清洗机，RTP快速退火炉，桌上型高低温试验箱，高低温冲击试验箱，恒温恒湿试验箱，超低温试验箱等设备。