晶圆退火需进行升温处理，升温处理具有多个升温阶段,每个升温阶段相应的升温速率不同,其中,多个区域在每个所述升温阶段中的温度不同;对所述多个区域进行保温处理;对多个区域采用氮气保护，该氮气烘箱采用辅助降温方式进行降温处理。

晶圆退火烤箱，500度退火氮气烘箱技术性能：

1 工作室尺寸 W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制

2 材质 内箱采用耐高温SUS304不锈钢，外箱采用优质冷轧板喷塑

3 温度范围 RT+50-550℃

4 控温精度 +1

5 温度波动度 ≤±1℃

6 温度均匀度 ≤1.5%

7 洁净度class100/class1000/无要求

8电源及总功率 AC 380V±10%/50HZ

9 升温速度 1-10℃/min可调

10降温方式 风冷降温/水冷

11氧含量 氧含量≤50ppm

12 数据输出 氧含量分析仪，温度记录仪

13操作方式 彩色触摸屏控制，可程式/定制运行

14 样品架 2层不锈钢冲孔托盘

500度退火氮气烘箱安全保护：

三色指示灯

超温报警

短路保护

漏电保护

超温保护，独立感温式超温保护器

电机保护

​电子锁自动锁紧，防止高温开门