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百级洁净烘箱BXDH-180F
价格：￥29500
品牌名称：DAOHAN型号：BXDH-180F原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/1 7:21:45
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详细内容
BXDH-180F百级洁净烘箱
用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
一．主要技术指标
1.1、温度范围：室温＋30℃～200℃；升温速率：3-6℃/min
1.2、温度波动度：±0.5℃；
1.3、温度均匀度：100℃±2℃、200 ℃±4℃、250℃±5℃，（空载恒温20min后检测）；
1.4、工作室尺寸（单腔）：600（宽）*500（深）*600（高）mm；
1.5 、采用日本”富士”温度控制器，控制器液晶显示及设定、PID 自动演算、薄膜设定，精确度±0.3%FS；
1.6、洁净度（class）：100
1.7、功率：12.0KW
1.8、电源：380V/50Hz
气流控制方式：
2.1、强制循环通风，控制系统根据设定之温度点通过PID自动运算输出的结果去控制加热器的输出量，最终达到平衡
2.2、气流循环装置：内置空调间、循环风道及通风电机；
2.3、加热方式：采用进口覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器。
2.4、隔板要求：每个腔体配二个隔板，用不锈钢板冲孔制成，隔板四边与箱体紧密接触。
三、箱体结构
3.1、箱体外壁材料：外箱采用优质冷轧板喷塑，耐腐蚀，美观大方；
3.2、箱体内壁材料：采用优质不锈钢板全周氩弧焊，并经碱性苏打水清洁，有效防止机台本身灰尘的产生；
3.3、保温材料：采用特细超白玻璃纤维120K级高密度保温棉填充，有效地防止了热能浪费。
3.4、箱体为整体组合结构，顶部为电器控制柜，内装的电器控制系统，下部为腔体。电控柜外围的温度≦50度，可避免人员烫伤。
3.5、装有氮气接口，能将箱内空气排出，确保烘烤的硅片是在氮气中进行；(氮气流量计需安装在箱体的正面，进气口安装在箱体的后部，安装8mm管径的进气口。）
3.6、箱体内装有高效过滤器，有效过滤99.99％0.3um以上颗粒，达到更好洁净效果。
热门标签：烘箱,百级,洁净
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