MOTT成立于1959年，于过滤器和流体流动产品的工程设计，结合数千种应用领域的专业设计经验和技术打造高度工程化的产品。

MOTT过滤器GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L技术参数

MOTT过滤器GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L介绍

Mott GasShield® 扩散器可快速将真空腔内的气体排放到大气中，从而缩短循环时间并提高产量。Mott不锈钢扩散器可提供均匀的层流气体，且不会扰动腔体内的颗粒。这些扩散器还能去除进入气体中大于0.0015 µm的颗粒，最大限度地减少晶圆缺陷。不锈钢扩散器可承受更高的工作压力，并可在超过300万次循环后仍保持产品完整性。

应用

Mott 扩散器广泛应用于半导体设备接口（CVD、PVD、蚀刻、外延）或其他真空腔的排气应用中，例如装载锁腔、传输腔、冷却腔和工艺腔，尤其适用于需要在短时间内通入大量气体的场合。

Mott GasShield® Diffusers quickly vent vacuum chambers to atmosphere which decreases cycle time and increases throughput. Mott stainless steel diffusers provide uniｆorm and laminar gas flows without disturbing particles in the chamber. These diffusers also remove particles greater than 0.0015 µm from incoming gas minimizing defects on the wafer. Stainless diffusers can withstand higher operating pressures and maintain product integrity for over 3,000,000 cycles.

APPLICATIONS

Mott diffusers are used in vent applications on load lock chambers, transfer chambers, cooling chambers, and process chambers of Semiconductor equipment interfaces (CVD, PVD, Etch, Epi) or other vacuum chambers where large volumes of gas flows are required in a short amount of time.

MOTT过滤器其他常用型号：

MOTT GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L 6894036

MOTT GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW25 6894039

MOTT GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40 6894030

MOTT GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40 6894040

MOTT GSE-FLG-2.0-F1-NW50-316L 6894035

MOTT GSE-FLG-2.0-F1-NW50-C22 6894044

MOTT GSE-FLG-3.6-F1-NW100-316L 6894045

MOTT diffuser NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY

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MOTT过滤器GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L技术参数及介绍