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spincoater旋涂仪匀胶显影机
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价格：￥电议
更新日期：2026/3/18 11:05:58
生 产 地：中国大陆
产品型号：WS65023N
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详细内容
匀胶机(英文名：Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍： 匀胶机(英文名：Spin Coater)
行业俗称:匀胶台,甩胶机,涂胶机,镀膜机,涂层机
品牌 LAURELL
型号 WS-650-23N WS-650-8N WS-650-15N
产品概述:
WS650型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.
匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是WS650型均匀胶机的特点.
该机在这方面采取了许多措施:
(一)该设备采用美国先进技术.
(二)转速在12000转/分范围内非常稳定.
(三)本匀胶机采用PLC控制，速度无调节.在启动之后,一般工艺先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转.步骤转速及相应的时间分别可调.
(四)本匀胶机采用直流驱动马达，超过10年的使用历史
(五)"吸片"采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率.
(六)智能型调节匀胶时间,倒计时数字显示
(七)在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度.
(八)匀胶机配真空泵使用.
性能指标：
高性能马达驱动
旋转控制
Mz型高精度旋涂用马达
转速范围:50~12000RPM （注 50RPM是小稳定转速）
大加速度:12000RPM/S;
匀胶均匀性:＜3% @6 inch Wafer
电源电压：220V/ 50Hz
电机功率：200W
适用：Φ10-Φ150mm硅片及其它材料等匀胶.
体积小,重量轻,操作简便
