匀胶旋涂仪涂胶机甩胶机美国laurell

MYCRO美国原装进口的旋涂仪，自1985年开始，我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统，目前客户已遍布全球。
匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机/旋转涂层仪、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机 旋涂仪、进口匀胶机、台式匀胶机、实验室匀胶机、匀胶机价格、匀胶机品牌、晶圆匀胶机

特色：
◆ 科研制备理想的旋涂仪;
◆ 天然聚丙烯或特氟龙材质构造;
◆ 216毫米，318毫米和370毫米三种腔体大小;
◆ 可选择台面式，和用于湿站或者手套箱系统的不同构造;
◆ 最大转速可达12000RPM;
◆ 易编程的数码控制器（WS650型控制器）;
◆ 可升级成为自动滴胶型;
请根据您实际需要的大小和材质选择相应的旋涂仪型号：
WS-650-23N
WS-650-8N
WS-650-15N
可选配件：自动滴胶系统UD3、EBR晶圆去边系统UD-3B、TFL特氟龙内衬、针对不同基片材质可定制托盘、单点滴注系统（适用于大剂量滴胶）
旋转涂层机/旋涂仪超准的速度控制：
我们的台式旋转涂层机/旋涂仪机数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器，其设置点精度小于0.006%（遵照美国NIST激光测量标准），无需校准；
旋转涂层机/旋涂仪内包含20个51步程序段或者手动模式，非常方便设定速度和加速度程序段， 1~10000RPM的稳定转速可以随意设定！
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匀胶机(英文名：Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍： 匀胶机(英文名：Spin Coater)
行业俗称:匀胶台,甩胶机,涂胶机,镀膜机,涂层机

品牌 LAURELL
型号 WS-650-23N WS-650-8N WS-650-15N

产品概述:
WS650型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.
匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是WS650型均匀胶机的特点.
该机在这方面采取了许多措施:
(一)该设备采用美国先进技术.
(二)转速在12000转/分范围内非常稳定.
(三)本匀胶机采用PLC控制，速度无极调节.在启动之后,一般工艺先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转.步骤转速及相应的时间分别可调.
(四)本匀胶机采用直流驱动马达，超过10年的使用历史
(五)"吸片"采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率.
(六)智能型调节匀胶时间,倒计时数字显示
(七)在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度.
(八)匀胶机配真空泵使用.

性能指标：

高性能马达驱动
旋转控制
Mz型高精度旋涂用马达
转速范围:50~12000RPM （注 50RPM是最小稳定转速）
最大加速度:13000RPM/S;
转速误差:＜±0.5RPM @8000RPM NIST标准认证；
匀胶均匀性:＜1% @6 inch Wafer

电源电压：220V/ 50Hz
电机功率：200W
适用：Φ10-Φ150mm硅片及其它材料等匀胶.
体积小,重量轻,操作简便