宽波长，高光通量

· 宽带输出或单色波长输出

· 高可靠性、长期稳定运行的 EUV 光源

· 紧凑型结构设计

德国 hp spectroscopy proLINE 是一款基于等离子体的 EUV 光源，可在 1–20 nm 的多种波长范围内提供极高光通量输出。作为一款一站式系统，proLINE 使科研人员能够更加专注于实验研究本身。该光源还可搭配我们产品组合中的单色仪或诊断光谱仪使用。

proLINE 具有极高的灵活性，可提供两个或更多输出端口，支持同时连接至多条光束线进行实验。此外，通过气体选择和单色仪设置，可实现快速且自动化的波长切换。

我们还可提供定制化版本，包括集成单色仪、聚焦单元以及实验靶站配置等。proLINE 还可与 X 射线吸收光谱系统 proXAS 配套使用，构建多功能测试平台。

特点

基于等离子体的 EUV 光源

· 高光子通量

· 宽带输出或单色化输出

· 丰富的波长选择范围

· 无电极结构设计，碎屑污染低

· 300 µm 光源尺寸，实现高亮度

使用方便

· 紧凑型结构设计

· 低使用成本（气体流量消耗低）

· 高可靠性、长期稳定的EUV 光源

· 可选配集成诊断系统

应用

· EUV 计量检测

· 掩模缺陷检测

· 光刻胶（Resist）研发

· EUV 显微成像

· 水窗波段显微成像

proLINE的典型等离子体发射光谱。可通过气体选择和单色仪设置，实现快速且自动化的波长切换。

采用高可靠性激光等离子体（Laser-Produced Plasma,LPP）技术的XUV光源。

能量范围：1 –20nm/60 – 1200eV

重复频率：20 Hz

参数指标