一、岛津EDX⁻⁷20 X射线荧光光谱仪主机部分:
1、 X射线发生器单元
X射线管
类型 Rh靶
冷却方法 空冷（附风扇）
2X射线电源单元
电压 5-50kV，每步1Kv（测定重金属(Cd,Pb,Hg,Br,Cr等)时，可以用50ｋV。但测定轻元素时，15kV是***有效的。另在工作曲线法中，随时可设定***电压。） 电流 1-1000µA，每步1µA
稳定度 ±0.01%（外电压波动±10%）
保护电路 过电压, 过电流, 过功率,
X射线连锁保护
（特点说明：电压、电流可以由计算机控制自动调节，满足不同元素的分析，同时满足RoHS，ELV指令扩展的要求）
3、一次X射线滤波片 5种自动交换
（特点说明：不同元素应该采用不同的滤光片进行分析，这样才能有效降低背景，得到高准确度的测量数据。EDX⁻⁷20进行元素分析时可以自动判断元素和更换相应的滤光片，无须手动更换）

二、岛津EDX⁻⁷20 X射线荧光光谱仪检测器:
1、检测器
类型 Si（Li）检测器
液氮 只有在分析时添加
液氮消耗 少于1升/天
检测面积 10mm2
分析元素 Na-U
分辨率 ：小于150电子伏特
（特点说明：采用液氮制冷方式的检测器具有高分辨率，可以避免元素谱线之间的干扰，从而保证高准确度的分析。在性能、实绩、稳定性上，Si(Li)半导体是***性的实绩（岛津检测器是自己生产，在万一发生故障也迅速对应）。 掘场按振动检测器的性能下降。 精工较差的Si-PIN半导体分辨率为220eV、在分析树脂中的Cd、Pb时，容易受到Br和Sb等共存元素的干扰、并有时不能检出，还有因为是低强度，在测试金属中有害元素的感度也差。）
2、计数单元
放大器
拟合时间 10µ秒
增益变化 高/低
多道分析器（MCA）
变频型 顺序比较ADC
道数 2048道
***大计数率 232-1/道

三、岛津EDX⁻⁷20 X射线荧光光谱仪样品室与测定室单元
1、样品室
盖子 自动开启/关闭（带安全系统）
每次测定时盖子自动上升与下降。
***大样品尺寸 300mm 直径 x 150mm高
（特点说明：样品室自动开启，样品盖子的结构设计有效避免X光的泄露，满足日本及中国X射线的泄露控制标准。超大型的样品室可以容纳大型的部件直接放入测试，无须切割）
2、测定室
X射线照射面积 下照射
光栏直径 1、3、5、10mm可选
（特点说明：不同的分析面积采用不同尺寸的光栏，可以保证各种大小样品的测试。）
测定室开孔 13mm
3、测定气氛：大气
4、CCD观察定位系统