日立高新超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000是门为电子束敏感样品和需大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。
紫外臭氧清洗机常用于扫描探测显微镜的样品应用，我们的设备能用于清洗原子力显微镜探针，扫描探针显微镜标准和表面上常规的油渍层和残留的无机材料，也能用来改变物体表面的疏水性，有助于部件和表面的化学改性，经过氧化和硬化处理的探针有利于在扫描过程中保持探针的几何形状，削尖的探针有利于提高侧向分辨率。
PSD系列产品是数字控制的台式清洗设备，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。设备配备一个带反射罩的高强度UV格栅灯盘, 和可调节高度的样品台，用于优化样品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系统具有进出气接口。该系统由一个方便的预设置控制器控制，非常容易操作。
Ø 预设置的数字控制器
Ø 方便简单的两按键操作
Ø 自动工作：15.30.60.120分钟
Ø 工作进程可以在任何时候手工终止
Ø 系统不能提供加热盘选项
Ø 经济实用的设计使得PSD系列成为受欢迎的选择

• 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。

  • 0.4nm / 30kV（SE）

  • 1.2nm / 1kV（SE）

  • 0.34nm / 30kV（STEM）

• 用改良的高真空性能和无与伦比的电子束稳定性来实现高效率截面观察。

• 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。