硅片涂层厚度测量仪-晶圆厚度测量

“Filmetrics F10-AR薄膜厚度测量仪”详细介绍

厂家正式授权代理商：岱美有限公司

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公司网址：www.dymek.cn

F10-AR 是为简便而经济有效地测试眼科减反涂层设计的**台仪器。 虽然价格大大低于当今绝大多数同类仪器，应用几项****技术， F10-AR 使线上操作人员经过几分钟的培训，就可以进行厚度测量。薄膜特性表征工具/光学参数测量/反射率测量/厚度测量/透射率测量，应用于半导体材料厚度测量、非金属材料厚度测量、光刻胶、光学掩膜、介电薄膜、晶圆表面涂层厚度测量、圆晶薄膜厚度测量、硅片表面涂层材料厚度测量，研究透光性材料的工具。

产品图片及参数：

光学膜厚测量仪

膜厚测量仪利用连续光谱反射光谱的周期性波动，以及反射光谱物质特性波动变化以及软硬件稳定强大的计算方法，经多次模拟演算推算出膜层厚度以及厚度测量置信度。

Filmetrics—F10系列为便携式、接触式测量系统，该系统针对响应快速，测量便捷的用途，收到客户广泛的认可！表面可接触的透光性涂层测量的**！可测量单层，亦可测量多层膜层！

美国 Filmetrics 公司生产的薄膜厚度测量仪利用反射干涉的原理进行无损测量，可测量薄膜厚度及光学常数。测量精度达到埃级的分辩率，测量迅速，操作简单，界面友好，是目前市场上最具性价比的薄膜厚度测量设备。设备光谱测量范围从近红外到紫外线，波长范围从200nm到1700nm可选。凡是光滑的，透明或半透明的和所有半导体膜层都可以测量。其可测量薄膜厚度在 1nm 到 13mm 之间，测量精度高达1 埃，测量稳定性高达 0.7 埃，测量时间只需一到二秒, 并有手动及自动机型可选。可应用领域包括：生物医学（Biomedical）, 液晶显示(Displays), 硬涂层(Hard coats), 金属膜(Metal), 眼镜涂层(Ophthalmic) , 聚对二甲笨(Parylene), 电路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半导体材料(Semiconductors) , 太阳光伏(Solar photovoltaics), 真空镀层(Vacuum Coatings), 圈筒检查(Web inspection applications)等。

应用：

通过Filmetrics膜厚测量仪最新反射式光谱测量技术,多达3-4层透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在数秒钟测得。其应用广泛，例如：

膜层实例：

几乎任何光滑、半透明、低吸收的膜都能测。包括：

SiO2（二氧化硅） SiNx（氮化硅） DLC（类金刚石碳）

Photoresist（光刻胶） Polyer Layers（高分子聚合物层） Polymide（聚酰亚胺）

Polysilicon（多晶硅） Amorphous Silicon（非晶硅）

基底实例：

对于厚度测量，大多数情况下所要求的只是一块光滑、反射的基底。对于光学常数测量，需要一块平整的镜面反射基底；如果基底是透明的，基底背面需要进行处理使之不能反射。

包括：

Silicon（硅） Glass（玻璃） Aluminum（铝）

Gas（砷化镓） Steel（钢） Polycarbonate（聚碳酸脂）

Polymer Films（高分子聚合物膜）

产品应用，在可测样品基底上有了极大的飞跃：

●几乎所有材料表面上的镀膜都可以测量，即使是药片，木材或纸张等粗糙的非透明基底。

●玻璃或塑料的板材、管道和容器。

●光学镜头和眼科镜片。

服务：

免费样机演示及测量

轻轻一按即可实现测量！

请联系我们，专业的应用工程师将为你演示它是如此的方便！

优势：

* 提供在线诊断

* 配送独立的软件包

* 精通的历史功能即程序数据可存储、复制及策划结果

* 免费软件升级