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三轴精密位移台
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价格：￥电议
更新日期：2026/9/20 19:01:05
生 产 地：中国大陆
产品型号：RBN-XYZ
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详细内容
结构特点
三轴精密运动台为直驱紧凑式结构，XY轴三片叠层的方式，有效地降低工作点的高度，Z轴采用低摩擦气缸配重，可以抵消负载的重力，从而降低电机持续推力的要求，减小运动台发热量，断使能负载不会受重力影响而向下脱落。抗蠕动交叉滚柱导轨，滚柱交叉排列，多方向受力稳定。
精度性能
RBN-XYZ轴电子分辨率0.3nm或5nm选配，定位精度±50nm，双向重复定位精度±10nm，直线度和平面度±0.75µm以内，是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距（最小位移量）要求的应用领域，如最小步距运动、对准应用等，微动步距≤2nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
可定制用于10^⁻⁷Torr真空环境下的版本；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。
规格指标
型号 Model | 单位Units | RBN-60XY-35Z | RBN-60XY-60Z | RBN-110XY-35Z | |
行程 Travel | mm | 60 x 60 x 35 | 60 x 60 x 60 | 110 x 110 x 35 | |
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版Ultra | µm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
高精版 Plus | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
普通版 Standard | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | nm | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 |
高精版 Plus | ±20 | ±20 | ±40 | ||
普通版 Standard | ±30 | ±30 | ±75 | ||
双向重复定位精度 Bi-DirRepeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.01 | ±0.01 | ±0.01 |
高精版 Plus | ±0.025 | ±0.025 | ±0.05 | ||
普通版 Standard | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.35 |
普通版 Standard | ±1 | ±1 | ±1 | ||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
普通版 Standard | ±1 | ±1 | ±1 | ||
俯仰、翻滚 (1) Pitch Roll | 高精版 Plus | arcsec | ±2.5 | ±2.5 | ±3 |
普通版 Standard | ±5 | ±5 | ±5 | ||
偏摆 (1) Yaw | 高精版 Plus | arcsec | ±1 | ±1 | ±1 |
普通版 Standard | ±2.5 | ±2.5 | ±2.5 | ||
电子分辨率 ElectronicResolution (2) | nm | ≤ 1,≤ 5（选配） | |||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | mm/s | 100 | 200 | ||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 1,（5 定制） | |||
最大负载 Max Load | kg | 10 | |||
正交性 Orthogonality | 高精版 Plus | arc sec | ±2.5 | ||
普通版 Standard | ±5 | ||||
型号 Model | 单位Units | RBN-110XY-60Z | RBN-160XY-35Z | RBN-160XY-60Z | |
行程 Travel | mm | 110 x 110 x 60 | 160 x 160 x 35 | 160 x 160 x 60 | |
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版 Ultra | µm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
高精版 Plus | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
普通版 Standard | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | nm | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 |
高精版 Plus | ±40 | ±40 | ±40 | ||
普通版 Standard | ±75 | ±75 | ±75 | ||
双向重复定位精度 Bi-DirRepeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.01 | ±0.01 | ±0.01 |
高精版 Plus | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 | ||
普通版 Standard | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±0.35 | ±0.5 | ±0.5 |
普通版 Standard | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±0.5 | ±0.75 | ±0.75 |
普通版 Standard | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ||
俯仰、翻滚 (1) Pitch Roll | 高精版 Plus | arcsec | ±3 | ±3 | ±3 |
普通版 Standard | ±5 | ±5 | ±5 | ||
偏摆 (1) Yaw | 高精版 Plus | arcsec | ±1 | ±1 | ±1 |
普通版 Standard | ±2.5 | ±2.5 | ±2.5 | ||
电子分辨率 ElectronicResolution (2) | nm | ≤ 1,≤ 5（选配） | |||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | mm/s | 200 | |||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 1,（5 定制） | |||
最大负载 Max Load | kg | 10 | |||
正交性 Orthogonality | 高精版 Plus | arc sec | ±2.5 | ||
普通版 Standard | ±5 | ||||
特殊项目 SpecialItems (4) | 单位Units | 数值 Data |
微动步距 Min Incremental Step | nm | 默认,≤2,≤ 50 |
定位纹波 In Position Stability | nm | 默认,≤2,≤ 50 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1.取决于平台安装表面的平面度。
2.电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3.空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
4.无特殊项目要求，出厂默认为准。
