产品展示
双轴真空运动台
点击次数：187
价格：￥电议
更新日期：2026/9/24 16:34:23
生 产 地：中国大陆
产品型号：RBN-VC-L
- 电话: 15******608
- 手机: 15******608
- 微信:
- 交换名片后展示联系方式 → →
详细内容
产品简介
X轴行程380mm，Y轴行程200mm，高真空直线电机驱动，在低速运行时保持平稳，在高速状态不产生振动。
真空交叉滚柱直线导轨导向，滚柱是线接触，比滚珠接触面积大，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。十字叠层结构，使整体结构更紧凑。真空润滑脂涂抹在真空导轨上，不易挥发。
尽可能的消除盲孔，在盲孔和螺栓处有通孔，保证安装孔开放式结构。结构件选用航空铝合金件，清洗加工表面，高低温热处理消除加工应力，确保使用的稳定性。
使用聚四氟乙烯材质的垫圈；螺钉中心带通孔，结构件消除盲孔，方便通风排气；轴侧面无防尘设计，方便通风排气；线缆外表为特氟龙材质，适用真空环境；提供真空腔外的配套连接法兰及线缆。
规格指标
轴系 Axis | 测试项目 Test Items | 单位Units | 指标 Specification |
X 轴 X AXIS | 行程 Travel | mm | 380 |
补偿后定位精度 Accuracy | µm | ±0.75 | |
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | µm | ±0.2 | |
直线度 Straightness | µm | ±3 | |
偏摆 Yaw | arc sec | ±15 | |
俯仰 Pitch | arc sec | ±15 | |
工作速度 Operating Speed | mm/s | 100 | |
加速度 Acceleration | g | 0.1 | |
微动步距 Min Incremental Motion | nm | 10 | |
Y 轴 Y AXIS | 行程 Travel | mm | 200 |
补偿后定位精度 Accuracy | µm | ±0.75 | |
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | µm | ±0.1 | |
直线度 Straightness | µm | ±1.5 | |
偏摆 Yaw | arc sec | ±7 | |
俯仰 Pitch | arc sec | ±7 | |
工作速度 Operating Speed | mm/s | 100 | |
加速度 Acceleration | g | 0.1 | |
微动步距 Min Incremental Motion | nm | 10 | |
XY | 负载 Load | kg | 15 |
