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五轴精密运动台
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更新日期：2026/9/24 16:34:36
生 产 地：中国大陆
产品型号：RBN-200XY-150Z-AB
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详细内容
应用领域
RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台用于曲面飞激光加工。
产品简介
XY轴采用防蠕动十字交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，XY轴平面式结构，最大限度降低高度，减小系统误差影响；此外XY轴可定制抱闸功能，抱闸位置漂移可控制在20nm内。
Z轴直驱力矩电机驱动，交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，获得纳米级定位纹波。
AB轴气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，侧向放置承载能力大，解决气浮抱死的问题。的轴向跳动误差、径向跳动误差和倾角误差，使AB轴正交2~10arc sec，轴向线重合度2~10µm。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。
规格指标
轴系 Axis | 测试项目 Test Items | 单位Units | 指标Specification |
X 轴 X AXIS | 行程 Travel | mm | 200 |
补偿后定位精度 Accuracy | µm | ±0.5 | |
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | µm | ±0.1 | |
直线度 Straightness | µm | ±1.5 | |
平面度 Flatness | µm | ±2 | |
工作速度 Operating Speed | mm/s | 100 | |
Y 轴 Y AXIS | 行程 Travel | mm | 200 |
补偿后定位精度 Accuracy | µm | ±0.5 | |
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | µm | ±0.1 | |
直线度 Straightness | µm | ±1.5 | |
平面度 Flatness | µm | ±2 | |
工作速度 Operating Speed | mm/s | 100 | |
A轴 A AXIS | 行程 Travel | ° | ±90 |
补偿后定位精度 Accuracy | arc sec | ±2 | |
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | arc sec | ±1 | |
轴向跳动误差 Axial Error Motion | µm | 0.2 | |
径向跳动误差 Radial Error Motion | µm | 0.2 | |
工作速度 Operating Speed | °/s | 40 | |
B轴 B AXIS | 行程 Travel | ° | 360 |
补偿后定位精度 Accuracy | arc sec | ±2 | |
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | arc sec | ±1 | |
轴向跳动误差 Axial Error Motion | µm | 0.2 | |
径向跳动误差 Radial Error Motion | µm | 0.2 | |
工作速度 Operating Speed | °/s | 40 | |
Z轴 Z AXIS | 行程 Travel | mm | 150 |
补偿后定位精度 Accuracy | µm | ±0.3 | |
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | µm | ±0.1 | |
直线度 Straightness | µm | ±1 | |
平面度 Flatness | µm | ±1 | |
工作速度 Operating Speed | mm/s | 50 | |
XYAB | 负载 Load | kg | 1 |
Z | 负载 Load | kg | 20 |
