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双轴中空精密运动台
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价格：￥电议
更新日期：2026/9/20 19:01:01
生 产 地：中国大陆
产品型号：RBZK-XY系列
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详细内容
设计特点
RBZK系列双轴中空精密运动台，叠层紧凑的中空外形结构，工作点位置降低，光栅反馈位置接近工作表面，在晶圆检测中至关重要。高精度滚柱导轨和精密研磨的加工表面，专业的装配工艺，获得直线度±1.25µm，平面度±1.5µm。
双驱结构
每轴用双直线电机驱动，龙门交叉解耦控制算法，提供双电机的运行的一致性，提供大推力、速度1m/s和准确的定位，直线电机的温度控制在室温，比滚珠丝杆传动结构的运动台，性能有了提升。
光栅反馈
每轴采用双光栅尺闭环反馈，安装位置接近工作表面，能够有效地降低系统误差影响，提升整体精度性能。可选电子分辨率≤1nm或≤5nm。
线缆管理
使用高质量无尘拖链，优化管线弯曲半径，防止动作过程中影响其性能，同时也适用在洁净室内。
规格指标
型号 Model | 单位Units | RBZK-100XY | RBZK-150XY | RBZK-200XY | ||||
轴系 Axis | 轴系 | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 Travel | mm | 100 x 100 | 150 x 150 | 200 x200 | ||||
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版 Ultra | µm | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | |||
高精版 Plus | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | |||||
普通版 Standard | ±1 | ±1 | ±1 | |||||
单向重复定位精度Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||
高精版 Plus | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | |||||
普通版 Standard | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | |||||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.15 | ±0.15 | ±0.15 | |||
高精版 Plus | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | |||||
普通版 Standard | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | |||||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | |||
普通版 Standard | ±1.5 | ±1.5 | ±2.5 | |||||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±0.75 | ±1 | ±1.25 | |||
普通版 Standard | ±1.5 | ±1.75 | ±2.5 | |||||
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw | 高精版 Plus | arc sec | ±1.5 | ±2 | ±2 | |||
普通版 Standard | ±3 | ±4 | ±4 | |||||
电子分辨率 ElectronicResolution (2) | nm | ≤ 1,≤ 5（选配） | ||||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | m/s | 1 | ||||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 5,（10, 20 定制） | ||||||
最大负载 Max Load | kg | 20 | 30 | |||||
型号 Model | 单位Units | RBZK-250XY | RBZK-300XY | |||
轴系 Axis | 轴系 | X | Y | X | Y | |
行程 Travel | mm | 250 x 250 | 300 x300 | |||
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版 Ultra | µm | ±0.3 | ±0.3 | ||
高精版 Plus | ±0.5 | ±0.5 | ||||
普通版 Standard | ±1 | ±1 | ||||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.1 | ±0.1 | ||
高精版 Plus | ±0.2 | ±0.2 | ||||
普通版 Standard | ±0.3 | ±0.3 | ||||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.15 | ±0.15 | ||
高精版 Plus | ±0.3 | ±0.3 | ||||
普通版 Standard | ±0.5 | ±0.5 | ||||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±1.25 | ±1.25 | ||
普通版 Standard | ±3 | ±3.5 | ||||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±1.5 | ±1.5 | ||
普通版 Standard | ±3.5 | ±3.5 | ||||
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw | 高精版 Plus | arc sec | ±2.5 | ±2.5 | ||
普通版 Standard | ±5 | ±5 | ||||
电子分辨率 ElectronicResolution (2) | nm | ≤ 1,≤ 5（选配） | ||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | m/s | 1 | ||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 5,（10, 20 定制） | ||||
最大负载 Max Load | kg | 30 | 50 | |||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1.取决于平台安装表面的平面度。
2.电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3.空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
