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QFR系列气浮转台

QFR系列气浮转台

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价格:¥电议

更新日期:2026/9/20 19:00:56

生 产 地:中国大陆

产品型号:

简单介绍:QFR系列气浮转台轻量化设计、有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差;提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等行业。

商家名片
刘**
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详细内容

结构特点

由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成,最大限度的提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低,减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮轴抱死的问题,力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑转动。

精度性能

瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm,摆角误差3µrad,最大负载1T,电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上。

闭环反馈

使用圆光栅闭环反馈,分辨率优于0.01arc sec,同时采用高性能控制系统,优化气浮结构,气浮转台能回到零点位置。

定制化

气浮转台可安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。


规格指标

型号 Model

单位

Units

QFR-100

QFR-150

QFR-200

QFR-250

QFR-300

行程 Travel

°

360

台面直径 Tabletop Diameter

mm

84

134

184

234

284

通孔直径 Aperture Diameter

mm

10

15

22

30

40

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

arc sec

±0.5

普通版 Standard

±2

双向重复定位精度

Bi-DirRepeatability

高精版 Plus

arc sec

≤0.5

普通版 Standard

≤1

同步轴向跳动误差

Synchronous Axial Error Motion

高精版 Plus

nm

10

普通版 Standard

200

同步径向跳动误差

Synchronous Radial Error Motion

高精版 Plus

nm

10

普通版 Standard

200

同步摆角误差

Synchronous Tilt Error Motion

高精版 Plus

µrad

3

普通版 Standard

6

异步轴向跳动误差

AsynchronousAxial Error Motion

高精版 Plus

nm

≤ 2.5

普通版 Standard

≤ 30

异步径向跳动误差

AsynchronousRadial Error Motion

高精版 Plus

nm

≤ 2.5

普通版 Standard

≤ 30

异步摆角误差

Asynchronous Tilt Error Motion

高精版 Plus

µrad

≤ 0.2

普通版 Standard

≤ 0.5

电子分辨率 Electronic Resolution (1)

arc sec

<0.01

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (2)

rpm

300,(≥1000 定制)

最大负载

Max Load

轴向 Axial Dir

kg

10

20

45

75

100

径向 Radia Dir

5

12

20

36

45

供气压力 Operating Pressure (3)

MPa

0.5±0.05

材料 Material

/

航空7075铝合金(表面氧化处理)


型号 Model

单位

Units

QFR-350

QFR-400

QFR-500

QFR⁻⁷50

QFR-1000

行程 Travel

°

360

台面直径 Tabletop Diameter

mm

334

384

484

734

984

通孔直径 Aperture Diameter

mm

40

50

60

80

100

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

arc sec

±0.5

普通版 Standard

±2

双向重复定位精度

Bi-DirRepeatability

高精版 Plus

arc sec

≤0.5

普通版 Standard

≤1

同步轴向跳动误差

Synchronous Axial Error Motion

高精版 Plus

nm

100

普通版 Standard

500

同步径向跳动误差

Synchronous Radial Error Motion

高精版 Plus

nm

150

普通版 Standard

500

同步摆角误差

Synchronous Tilt Error Motion

高精版 Plus

µrad

3

普通版 Standard

6

异步轴向跳动误差

AsynchronousAxial Error Motion

高精版 Plus

nm

≤ 25

普通版 Standard

≤50

异步径向跳动误差

AsynchronousRadial Error Motion

高精版 Plus

nm

≤ 25

普通版 Standard

≤50

异步摆角误差

Asynchronous Tilt Error Motion

高精版 Plus

µrad

≤ 0.2

普通版 Standard

≤ 0.5

电子分辨率 Electronic Resolution (1)

arc sec

<0.01

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (2)

rpm

300,(≥1000 定制)

最大负载

Max Load

轴向 Axial Dir

kg

120

350

650

850

1000

径向 Radia Dir

50

—

—

—

—

供气压力 Operating Pressure (3)

MPa

0.5±0.05

材料 Material

/

航空7075铝合金(表面氧化处理)


特殊项目 SpecialItems (4)

单位Units

数值 Data

定位纹波 In Position Stability

arc sec

默认,≤ 0.02,定制

跟随误差 Following Error

arc sec

默认,≤ 0.04,定制

注:以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在转动台面上25mm处,测试速度2-10deg/s,Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量,精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如需非标准测试,请咨询我们。

1. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。

2. 最大转速取决于负载大小,可定制更高转速。

3. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25µm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。

4.无特殊项目要求,出厂默认为准。

超精密气浮转台,气浮转台,气浮旋转台

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