QFR-TK系列通孔气浮转台

产品特点

通孔尺寸 ≤ 250mm

直驱零齿槽效应  定位精度±0.5arc sec

回零误差

高速度稳定性

解决气浮轴抱死问题

应用领域

QFR-TK系列通孔气浮转台轻量化设计、 有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿 贝误差，提供高定位精度、高速度稳定性。用于晶圆检测、圆度测量系统、微米或纳米断层 扫描、超精密制造、生物医疗及科研等领域。 结构特点 通孔结构设计，通孔φ40mm~φ250mm， 满足市场上大部分需要通孔的应用。由无齿槽 直驱力矩电机、气浮轴承和圆光栅反馈组成， 限度地提高定位性能。气浮结构设计使工 作台面降到最低，减小系统误差影响。解决气 浮轴抱死的问题，力矩电机固有的零齿槽效应 和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动。

精度性能

QFR-TK 系 列 通 孔 气 浮 转 台 定 位 精 度±0.5arc sec，同步轴向跳动误差100nm，异步 跳动误差30nm内，同步摆角误差3µrad，电动 控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年 以上。

闭环反馈

使用圆光栅闭环反馈，分辨率优于0.02arc sec，同时采用高性能控制系统，优化气浮结构，气浮转台能回零。

定制化

气浮转台可定制转速5000rpm，提升生产效率。

规格指标