QFU-300-275-360R-100Z-360R 五轴精密运动台

产品特点

大理石基座上行程300mm*275mm*360° (XYC)

旋转轴行程100mm*360°（ZB轴）

X轴直驱气浮结构，直线度平面度优于1µm

YZ轴交叉滚柱导轨，纳米级定位纹波

C轴跳动误差优于150nm

B轴用于角度调整0.5arc sec

优化线缆管理

产品简介

X 轴采用闭式气浮导轨导向，中间增加气浮承载面，防止中间下塌。直线电机驱动及光栅尺闭环 反馈，大理石材质作为机体，热稳定性好，用于扫描运动。 YZ 轴采用直线电机驱动，交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，获得纳米级定位抖动。Y 轴安 装到 X 轴上，Y 轴长度等于 X 轴宽度，保持移动的稳定性。Z 轴安装到大理石龙门桥架上。 C 轴采用气浮轴承、力矩电机及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮 轴承表面和创新的预压高刚度，侧向放置承载能力大，解决气浮轴抱死的问题。轴向跳动误差优于100nm，径向跳动误差优于 150nm。B 轴直驱力矩电机驱动，精密轴环导向及光栅尺闭环反馈，用 于角度调整，微动步距 0.5arc sec。 大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量 可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

规格指标