RBZ-QH系列精密Z轴

产品特点

垂直平升行程可达150mm，整体尺寸结构紧凑，最大负载100kg

高精度滑块滚柱导轨，伺服电机驱动，光栅闭环反馈

高可靠性驱动机构，带断电抱闸功能，使用寿命长

应用领域

RBZ-QH系列是一款高精度长行程，大 负载的精密Z轴，大尺寸楔形平升结构，用于激光加工、测试测量、半导体等行业，为其提供Z向精密定位。

结构特点

RBZ-QH系列楔形平升结构，直接移动负载，在一个长行程的移动范围内，保持尽可能短的高度，优化了系统误差影响，有助于提高整体精度性能。采用重载滑块滚柱导轨垂直导向，为有重载需求的应用提供了创 新解决方案，含断电抱闸功能，防止重物掉 落。

精度性能

对精密Z轴的材料选择、加工工艺、装 配工艺及科学检测方法等综合应用，光栅闭环反馈，重复定位精度±0.4µm，微动步距0.5µm，最大负载100kg。

精密控制

配合的控制器和驱动器，可提供的伺服性能、的控制算法，从而提高动态性能，控制器有定位误差补偿功能。柔性设计RBZ-QH系列精密Z轴上可安装RBLBAC系列双轴精密运动台，实现三轴精密定位。

规格指标