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平升Z轴

平升Z轴

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价格:¥电议

更新日期:2026/9/24 16:34:36

生 产 地:中国大陆

产品型号:RBZ-SG系列精密Z轴

简单介绍:RBZ-SG系列精密Z轴是一款长行程的,具有纳米微动步距,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆加工及检测、飞激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。

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刘**
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详细内容

结构特点

RBZ-SG系列直驱结构,承载能力大,在一个长行程的移动范围,保持尽可能低的高度,优化阿贝误差影响,有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向,为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。

直驱结构

力矩电机作为直驱方式,没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节,RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动,相对侧升结构Z轴,无需转接板,负载重心布置在Z轴中心,有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。

光栅闭环反馈

RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈,直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式,直接测量工件移动时的误差,提高了精度性能。


规格指标

型号 Model

单位Units

RBZ-10SG

RBZ-15SG

RBZ-20SG

RBZ-25SG

行程 Travel

mm

10

15

20

25

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

µm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

µm

±0.05

±0.05

±0.05

±0.075

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

直线度 (1)

Straightness

高精版 Plus

µm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

普通版 Standard

±3

±3

±3

±4

俯仰、翻滚 (1)

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±2.5

±2.5

±2.5

±2.5

普通版 Standard

±5

±5

±5

±5

偏摆 (1)

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±2

±2

±2

±2

普通版 Standard

±5

±5

±5

±5

电子分辨率ElectronicResolution (2)

nm

≤ 1,≤ 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)

mm/s

10

最大负载 Max Load

kg

20

40


型号 Model

单位Units

RBZ-30SG

RBZ-35SG

RBZ-45SG

RBZ-50SG

行程 Travel

mm

30

35

45

50

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

µm

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

µm

±0.075

±0.075

±0.075

±0.075

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

直线度(1)

Straightness

高精版 Plus

µm

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

普通版 Standard

±4

±4

±5

±5

俯仰、翻滚(1)

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±2.5

±2.5

±3.5

±3.5

普通版 Standard

±5

±5

±7

±7

偏摆(1)

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±2

±2

±3

±3

普通版 Standard

±5

±5

±7

±7

电子分辨率ElectronicResolution (2)

nm

≤ 1,≤ 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)

mm/s

10

50

最大负载 Max Load

kg

40

60


特殊项目 SpecialItems (4)

单位 Units

数值 Data

微动步距 Min Incremental Step

nm

默认,≤5, ≤50,≤100

定位纹波 In Position Stability

nm

默认,≤5, ≤50,≤100

注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃,湿度40%~60%RH,普通版振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度5mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求,出厂默认为准。

精密Z轴,运动台,位移台

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