RBN-275-110Z -TC 四轴精密运动台

产品特点

直线轴行程275mm*110mm (XZ)

旋转轴行程360°（TC轴）

XZ轴交叉滚柱导轨，纳米级定位纹波

C轴跳动误差优于100nm

产品简介

X 轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程 275mm，用于连续 扫描运动，安装到大理石横梁上，定位纹波优于 20nm。 Z 轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程 110mm，用于连续 扫描运动，Z 轴垂直安装到 X 轴上，定位纹波优于 20nm。 TC 轴采用气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计， 气浮轴承表面和创新的预压高刚度，径向刚度大，解决气浮轴抱死的问题，跳动误差优于 100nm。 四轴精密运动台采用大理石为机体，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及 稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客 户的要求做最终设计。

规格指标

注：

以上为单轴精度指标，测试点在负载板上25mm处，如要求非标准测试，请咨询我们。