QFL-XY-5XX三轴精密运动台

产品特点

三轴直驱式结构

Z轴楔形平升结构

紧凑亚微米级精度

根据需求可以定制

XY轴气浮结构

高柔线缆管理系统

结构特点

XY轴为开式气浮，永磁预载结构，十字叠层结构具有体积小、精度高等特点，能有效降低系统引起的阿贝误差。X轴比Y轴宽，作为底轴，整体性能更稳定。Z轴直驱楔形平升结构，无丝杆、联轴器等中间传动装置，提高了结构模态和整定性能，三轴结构紧凑，同时优化了系统刚度。

精度性能

XY轴气浮运动台的定位精度±50nm，双向重复定位精度±15nm，直线度±0.1µm，平面度±0.15µm，Pitch Roll Yaw±0.5arc sec，平升Z轴的定位精度±0.1µm，双向重复定位精度+0.05µm，直线度+1.5µm。

线缆管理

使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，动作过程中线缆和气管不影响到气浮运动台的性能。

定制化

XY轴可定制陶瓷材质气浮导轨，重复定位精度±15nm。行程也可接受定制。

规格指标

注：

以上为单轴精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。测试环境请咨询我们